Da bi podprli industrijo piezoelektričnih MEMS (pMEMS) senzorjev in radiofrekvenčnih (RF) filtrov, ki temeljijo na filmu, se aluminijeva skandijeva zlitina proizvajalca Rich Special Material Co., Ltd. posebej uporablja za reaktivno nanašanje filmov aluminijevega nitrida, dopiranega s skandijem. .
Tankoplastni piezoelektrični materiali se vedno bolj uporabljajo v avtomobilski, industrijski in osebni elektronski opremi. Aplikacije vključujejo senzorje prstnih odtisov na podlagi pmt in naprave za prepoznavanje kretenj, mikrofone MEMS, kemične senzorje na osnovi resonatorjev in medicinske senzorje. Poleg tega so folije iz aluminijevega nitrida, dopirane s skandijem, vedno bolj potrebne za realizacijo RF filtrov za omrežne aplikacije 5G. Hkrati se povečuje količina aluminijeve skandijeve zlitine.
Lastnosti zlitine Al Sc
Zelo dosledna kemična homogenost v celotni zlitini
Visoko dosledna kemična homogenost filma skozi celotno življenjsko dobo čipa in zlitine
Čistost>99,9%, nizka vsebnost kisika, nizka vsebnost kritičnih onesnaževal
Strogo nadzorujte mikrostrukturo, da dosežete najboljšo učinkovitost razprševanja
Vakuumsko lita, popolnoma gosta zlitina z nizko oprijemljivostjo, nizko variabilnostjo in nizko zrnatostjo
Rich Special Material Co., Ltd. podpira različne storitve taljenja zlitin, ciljne prilagoditve in raziskave in razvoj.
Čas objave: 11. nov. 2022