Všetci vieme, že existuje veľa špecifikácií rozprašovacieho terča,ktorý má awide rozsah použitia.Ton cieľové odrody bežne používané v rôznych odvetviach sú tiež rôzne, poďme dnes s PekingRichmat Spoločne sa dozviete o odvetvovej klasifikácii terčov na naprašovanie.
一,Definícia materiálu naprašovacieho terča
Naprašovanie je jednou z hlavných technológií prípravy tenkovrstvových materiálov. Využíva ióny generované iónovým zdrojom na vytvorenie iónového lúča s vysokou rýchlosťou energie prostredníctvom zrýchlenej agregácie vo vákuu. Bombardovaný pevný povrch, ióny a atómy pevného povrchu majú výmenu kinetickej energie, takže atómy na pevnom povrchu opúšťajú pevnú látku a ukladajú sa na Povrch substrátu, bombardovaná pevná látka je surovinou na prípravu naprašovacieho naneseného filmu, známeho ako naprašovací terč.
二,Klasifikácia oblastí použitia materiálov naprašovacích terčov
1、Polovodičový terč
(1)Bežne používaný materiál:Bežné ciele v tejto oblasti zahŕňajú tantal, meď, titán, hliník, zlato, nikel a iné kovy s vysokou teplotou topenia.
(2)Použitie：V podstate použiť na kľúčové pôvodné dáta integrovaného obvodu
(3)Funkčné požiadavky：Technické požiadavky na čistotu, veľkosť, integráciu sú vysoké.
2,Cieľový materiál pre plošné zobrazenie
(1)Bežne používaný materiál：Ciele bežne používané v tejto oblasti zahŕňajú hliník/meď/molybdén/nikel/niób/kremík/chróm atď.
(2)Použitie：Tento druh cieľového materiálu sa používa hlavne v rôznych typoch veľkoplošných filmov televízorov a notebookov.
(3)Funkčné požiadavky：Vysoké požiadavky na čistotu, veľkú plochu, rovnomernosť a pod.
3、Ciele pre solárne články
(1)Bežne používaný materiál：Terče hliník/meď/molybdén/chróm/ITO/Ta sa bežne používajú v solárnych článkoch.
(2)Použitie：Používa sa hlavne v „okennej vrstve“, bariérovej vrstve, elektróde a vodivom filme a pri iných príležitostiach.
(3)Funkčné požiadavky：Požiadavky na vysokú zručnosť, široký rozsah použitia.
4、Cieľový materiál na ukladanie informácií
(1)Bežne používaný materiál：Ukladanie informácií bežne používané cieľové materiály kobalt/nikel/ferozliatina/chróm/telúr/selén.
(2)Použitie：Cieľový materiál sa tu používa hlavne pre hlavu, strednú vrstvu a spodnú vrstvu CD-ROM a CD.
(3) Funkčné požiadavky：Vyžaduje sa vysoká hustota úložiska a vysoká prenosová rýchlosť.
5、Cieľový materiál pre úpravu nástroja
(1)Bežne používaný materiál：Nástrojová úprava zliatiny titán/zirkón/mriežka/chróm-hliník a iné terče.
(2)Použitie:Zvyčajne sa používa na zlepšenie vzhľadu.
(3)Funkčné požiadavky：Vysoké funkčné požiadavky, dlhá životnosť.
6、Cieľové materiály pre elektronické zariadenia
(1)Bežne používaný materiál:Terče z hliníkovej zliatiny/silicídu sa bežne používajú v elektronických zariadeniach
(2)Použitie：Všeobecne sa používa pre filmové odpory a kondenzátory.
(3)Funkčné požiadavky：Malá veľkosť, stabilita, nízky teplotný koeficient odporu
Čas odoslania: 21. apríla 2022