1、 Príprava naprašovaním
Je veľmi dôležité udržiavať vákuovú komoru, najmä rozprašovací systém, v čistote. Akékoľvek zvyšky vytvorené mazacím olejom, prachom a predchádzajúcim náterom budú zhromažďovať vodnú paru a iné znečisťujúce látky, ktoré priamo ovplyvnia stupeň vákua a zvýšia možnosť zlyhania tvorby filmu. Skrat alebo iskrenie terča, drsný povrch filmu a nadmerný obsah chemických nečistôt sú často spôsobené nečistou naprašovacou komorou, naprašovacou pištoľou a terčom. Aby sa dodržali charakteristiky zloženia povlaku, je potrebné vyčistiť a vysušiť rozprašovací plyn (argón alebo kyslík). Po nainštalovaní substrátu do naprašovacej komory je potrebné odsať vzduch, aby sa dosiahlo vákuum, ktoré proces vyžaduje. Tieniaci kryt v tmavej oblasti, stena dutín a priľahlý povrch musia byť tiež čisté. Pri čistení vákuovej komory odporúčame použitie otryskania sklenenými guľôčkami na ošetrenie zaprášených častí spolu so stlačeným vzduchom na odstránenie skorých zvyškov rozprašovania okolo komory a následné tiché vyleštenie vonkajšieho povrchu brúsnym papierom impregnovaným oxidom hlinitým. Po vyleštení sa gázový papier očistí alkoholom, acetónom a deionizovanou vodou. Spoločne obhajuje používanie priemyselného vysávača na pomocné čistenie. Terče vyrobené z kovu Gaozhan sú balené vo vákuovo uzavretých plastových vreckách,
Zabudovaný prostriedok odolný voči vlhkosti. Keď používate terč, nedotýkajte sa terča priamo rukou. Poznámka: Pri používaní terča noste čisté rukavice na údržbu, ktoré nepúšťajú vlákna. Nikdy sa nedotýkajte cieľa priamo rukami
2、 Cieľové čistenie
Účelom čistenia terča je odstrániť prach alebo nečistoty, ktoré sa môžu nachádzať na povrchu terča.
Kovový terč je možné čistiť v štyroch krokoch,
Prvým krokom je čistenie mäkkou handričkou, ktorá nepúšťa vlákna, namočenou v acetóne;
Druhý krok je podobný prvému kroku, čistenie alkoholom;
Krok 3: vyčistite deionizovanou vodou. Po umytí deionizovanou vodou vložte terč do rúry a sušte ho pri 100 ℃ počas 30 minút.
Čistenie oxidových a keramických terčov sa vykonáva pomocou „utierky nepúšťajúcej vlákna“.
Štvrtým krokom je umytie terča argónom s vysokým tlakom a nízkym vodným plynom po odstránení prašnej oblasti, aby sa odstránili všetky častice nečistôt, ktoré môžu vytvárať oblúk v rozprašovacom systéme.
3, Cieľové zariadenie
V procese inštalácie terča je dôležité zabezpečiť dobré tepelné vodivé spojenie medzi terčom a chladiacou stenou naprašovacej pištole. Ak je deformácia chladiacej dosky závažná alebo je deformácia zadnej dosky závažná, cieľové zariadenie praskne alebo sa ohne a tepelná vodivosť od zadného terča k cieľu bude značne ovplyvnená, čo má za následok zlyhanie odvodu tepla. v procese naprašovania a terč praskne alebo sa míňa
Aby sa zabezpečila tepelná vodivosť, môže byť medzi chladiacu stenu katódy a terč vložená vrstva grafitového papiera. Venujte prosím pozornosť starostlivej kontrole a vyjasneniu rovinnosti chladiacej steny použitej naprašovacej pištole, aby bol O-krúžok vždy na svojom mieste.
Keďže čistota použitej chladiacej vody a prach, ktorý sa môže vyskytnúť pri prevádzke zariadenia, sa bude usadzovať v nádrži katódovej chladiacej vody, je potrebné pri inštalácii terča skontrolovať a vyčistiť nádrž katódovej chladiacej vody, aby sa zabezpečila hladká cirkuláciu chladiacej vody a že nebude blokovaný vstup a výstup.
Niektoré katódy sú plánované tak, aby mali malý priestor s anódou, takže pri inštalácii terča je potrebné zabezpečiť, aby medzi katódou a anódou nebol žiadny dotyk alebo vodič, inak dôjde ku skratu.
Informácie o tom, ako správne ovládať terč, nájdete v návode na obsluhu zariadenia. Ak v používateľskej príručke takéto informácie nie sú, skúste zariadenie nainštalovať podľa príslušných návrhov poskytnutých spoločnosťou Gaozhan metal. Pri uťahovaní cieľového prípravku najskôr dotiahnite jednu skrutku rukou a potom rukou dotiahnite ďalšiu skrutku na diagonále. Toto opakujte, kým nie sú utiahnuté všetky skrutky na zariadení, a potom niečím dotiahnite.
4、 Kontrola skratu a tesnosti
Po dokončení cieľového zariadenia je potrebné skontrolovať skrat a tesnosť celej katódy,
Navrhuje sa určiť, či je skrat v katóde pomocou merača odporu
Riadková diskriminácia. Po potvrdení, že na katóde nie je žiadny skrat, sa môže vykonať detekcia úniku a do katódy sa môže priviesť voda, aby sa potvrdilo, či dochádza k úniku vody.
5、 Predbežné naprašovanie terča
Predbežné naprašovanie terča obhajuje naprašovanie čistého argónu, ktoré dokáže vyčistiť povrch terča. Keď je terč vopred naprášený, odporúča sa pomaly zvyšovať výkon naprašovania a rýchlosť zvýšenia výkonu keramického terča je 1,5 WH / cm2. Rýchlosť predbežného naprašovania kovového terča môže byť vyššia ako rýchlosť keramického terča a primeraná rýchlosť zvýšenia výkonu je 1,5 WH / cm2.
V procese predbežného naprašovania musíme skontrolovať oblúk terča. Čas predbežného naprašovania je všeobecne asi 10 minút. Ak sa nevyskytuje žiadny jav oblúka, neustále zvyšujte silu rozprašovania
Do nastaveného výkonu. Podľa skúseností je prijateľná Z vysoká rozprašovacia sila kovového terča
25 wattov / cm2, 10 wattov / cm2 pre keramický terč. Pozrite si základ nastavenia a skúsenosti s tlakom vákuovej komory počas naprašovania v používateľskej príručke systému. Vo všeobecnosti by sa malo zabezpečiť, aby teplota vody na výstupe chladiacej vody bola nižšia ako 35 ℃, ale Z je dôležité zabezpečiť, aby obehový systém chladiacej vody mohol efektívne fungovať
Rýchla cirkulácia podchladzovacej vody odoberá teplo, čo je dôležitou zárukou pre nepretržité rozprašovanie s vysokým výkonom. Pre kovové terče sa vo všeobecnosti odporúča, aby prúd chladiacej vody bol
20lpm tlak vody je asi 5gmp; Pre keramické terče sa všeobecne odporúča, aby prietok vody bol 30 l/min a tlak vody bol približne 9 gmp.
6、 Cieľová údržba
Aby sa predišlo skratu a iskreniu spôsobenému nečistou dutinou v procese naprašovania, je potrebné odstraňovať rozprašovač nahromadený v strede a na oboch stranách dráhy naprašovania postupne,
To tiež pomáha používateľom nepretržite prskať pri vysokej hustote výkonu
7、 Cieľové úložisko
Terče poskytované kovom Gaozhan sú balené v dvojvrstvových vákuových plastových vreckách. Sme za to, aby používatelia uchovávali terče, či už kovové alebo keramické, vo vákuovom balení. Najmä je potrebné, aby sa lepiace terče skladovali vo vákuu, aby sa zabránilo tomu, že oxidácia spojovacej vrstvy ovplyvní kvalitu spoja. Čo sa týka balenia kovových terčov, presadzujeme, aby sa Z balilo do čistých plastových vriec
Čas odoslania: 13. mája 2022