Terč má mnoho funkcií a široké uplatnenie v mnohých oblastiach. Nové naprašovacie zariadenie takmer používa silné magnety na špirálové elektróny na urýchlenie ionizácie argónu okolo cieľa, čo zvyšuje pravdepodobnosť kolízie medzi terčom a iónmi argónu,
Zvýšte rýchlosť rozprašovania. Vo všeobecnosti sa jednosmerné naprašovanie používa na pokovovanie, zatiaľ čo vysokofrekvenčné naprašovanie sa používa na nevodivé keramické magnetické materiály. Základným princípom je použitie žeravého výboja na zasiahnutie argónových (AR) iónov na povrchu terča vo vákuu a katióny v plazme sa zrýchlia, aby sa vrhli na negatívny povrch elektródy ako rozstrekovaný materiál. Tento náraz spôsobí, že materiál terča vyletí a uloží sa na substrát za vzniku filmu.
Vo všeobecnosti existuje niekoľko funkcií nanášania filmu pomocou procesu naprašovania:
(1) Kov, zliatina alebo izolátor môžu byť vyrobené z tenkých vrstiev.
(2) Za vhodných podmienok nastavenia môže byť film s rovnakým zložením vyrobený z viacerých a neusporiadaných cieľov.
(3) Zmes alebo zlúčeninu materiálu terča a molekúl plynu možno vyrobiť pridaním kyslíka alebo iných aktívnych plynov do atmosféry výboja.
(4) Cieľový vstupný prúd a čas rozprašovania je možné ovládať a je ľahké získať vysoko presnú hrúbku filmu.
(5) Je to prospešné pre výrobu iných filmov.
(6) Naprašované častice sú ťažko ovplyvnené gravitáciou a terč a substrát môžu byť voľne usporiadané.
Čas odoslania: 24. mája 2022