Mnohí používatelia neuvažujú o kúpe terčov z profesionálneho hľadiska, na čo si teda treba dať pozor pri nákupe terčov? Požiadajme Xiaobiana z Pekingu Ruichiho, aby poukázal na záležitosti, ktorým treba venovať pozornosť pri nákupe cieľov.
Po prvé, pre cieľ je čistota jedným z jeho hlavných funkčných ukazovateľov a čistota cieľa má veľký vplyv na funkciu neskoršieho produktu. Každý produkt má tiež iné požiadavky na čistotu terča.
Po druhé, obsah nečistôt jednotlivých prvkov v cieli. Po sérii cieľového spracovania sú hlavnými zdrojmi znečistenia nanesených filmov nečistoty v cieľovej pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch. V dôsledku rôzneho použitia terčov sa líšia aj požiadavky na rôzne obsahy nečistôt v terčoch s rôznym použitím. Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú teraz špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a rádioaktívnych prvkov.
Hustota je tiež jedným z dôležitých výkonnostných indexov terča V technickom procese terča, aby sa znížili póry v pevnom terči a zlepšila sa funkcia naprašovaného filmu, sa vo všeobecnosti vyžaduje, aby terč mal vysokú hustotu. Hlavná charakteristická hustota terča má veľký vplyv na rýchlosť rozprašovania a ovplyvňuje elektrické a optické funkcie filmu. Čím vyššia je cieľová hustota, tým lepšia je funkcia fólie.
Nakoniec veľkosť zrna a rozdelenie zŕn. Obvykle je cieľový materiál polykryštalický a veľkosť zŕn sa môže pohybovať od mikrónov po milimeter. Pre ten istý terč je rýchlosť rozprašovania jemnozrnného terča rýchlejšia ako u hrubozrnného terča; Hrúbka filmov nanesených terčovým naprašovaním s malým rozdielom veľkosti zŕn (rovnomerná disperzia) je rovnomernejšia.
Čas odoslania: 10. júna 2022