Nióbové cieľové materiály sa používajú hlavne v optických náteroch, povrchových inžinierskych materiáloch a náterových odvetviach, ako je tepelná odolnosť, odolnosť proti korózii a vysoká vodivosť. V oblasti optického povlaku sa používa najmä v očných optických produktoch, šošovkách, presnej optike, veľkoplošnom povlaku, 3D povlaku a ďalších aspektoch.
Nióbový terčový materiál sa zvyčajne nazýva holý terč. Najprv sa privarí k medenému zadnému terčíku a potom sa napráši, aby sa na substrátový materiál naniesli atómy nióbu vo forme oxidov, čím sa dosiahne naprašovanie. S neustálym prehlbovaním a rozširovaním technológie a aplikácie nióbového terča sa požiadavky na jednotnosť mikroštruktúry nióbového terča zvýšili, čo sa prejavuje hlavne v troch aspektoch: zjemnenie veľkosti zrna, žiadna zjavná orientácia textúry a zlepšená chemická čistota.
Rovnomerná distribúcia mikroštruktúry a vlastností v celom terči je rozhodujúca pre zabezpečenie naprašovania materiálov nióbových terčov. Povrch nióbových terčov, s ktorými sa stretávame v priemyselnej výrobe, zvyčajne vykazuje pravidelné vzory, ktoré výrazne ovplyvňujú výkon terčov naprašovaním. Ako môžeme zlepšiť mieru využitia cieľov?
Prostredníctvom výskumu sa zistilo, že obsah nečistôt (cieľová čistota) je dôležitým faktorom ovplyvňujúcim čistotu. Chemické zloženie surovín je nerovnomerné a nečistoty sú obohatené. Po neskoršom spracovaní valcovaním sa na povrchu materiálu nióbovej terče vytvoria pravidelné vzory; Odstránenie nerovnomernej distribúcie zložiek surovín a obohatenie nečistotami môže zabrániť tvorbe pravidelných vzorov na povrchu nióbových terčíkov. Vplyv zrnitosti a štruktúrneho zloženia na cieľový materiál môže byť takmer zanedbateľný.
Čas odoslania: 19. júna 2023