Teraz musíme byť dobre oboznámení s cieľom, teraz sa zvyšuje aj cieľový trh, čo je hlavný výkon naprašovacieho terča zdieľaného editorom z RSM
Čistota
Čistota cieľového materiálu je jedným z hlavných výkonnostných indexov, pretože čistota cieľového materiálu má veľký vplyv na výkon tenkého filmu. V praktickej aplikácii však požiadavky na čistotu cieľových materiálov nie sú rovnaké. Napríklad s rýchlym rozvojom mikroelektronického priemyslu sa veľkosť kremíkového čipu vyvinula z 6", 8" na 12" a šírka vodičov sa znížila z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um alebo dokonca 0,13 um. Predtým čistota 99,995 % cieľového materiálu spĺňala procesné požiadavky 0,35 umIC. Čistota cieľového materiálu je 99,999 % alebo dokonca 99,9999 % na prípravu línií 0,18 um.
Obsah nečistôt
Nečistoty v cieľovej pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch sú hlavnými zdrojmi znečistenia ukladania filmu. Cieľové materiály na rôzne účely majú rôzne požiadavky na rôzny obsah nečistôt. Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a rádioaktívnych prvkov.
Hustota
Aby sa znížila pórovitosť v pevnej látke terča a zlepšil sa výkon filmu na naprašovanie, je zvyčajne potrebná vysoká hustota terča. Hustota terča ovplyvňuje nielen rýchlosť rozprašovania, ale aj elektrické a optické vlastnosti filmu. Čím vyššia je cieľová hustota, tým lepší je výkon filmu. Okrem toho zvýšenie hustoty a pevnosti terča umožňuje, aby terč lepšie odolával tepelnému namáhaniu v procese naprašovania. Hustota je tiež jedným z kľúčových výkonnostných indexov cieľa.
Veľkosť zŕn a distribúcia veľkosti zŕn
Terč je zvyčajne polykryštalický s veľkosťou zŕn od mikrometra po milimeter. Pre rovnaký terč je rýchlosť rozprašovania terča s malými zrnami vyššia ako u terča s veľkými zrnami. Distribúcia hrúbky filmov nanesených naprašovacím terčom s menším rozdielom veľkosti zrna (rovnomerné rozloženie) je rovnomernejšia.
Čas odoslania: august-04-2022