Čo sa týka cieľového produktu, trh s aplikáciami je teraz čoraz širší, ale stále existujú niektorí používatelia, ktorí veľmi nerozumejú používaniu cieľa, nech sa o ňom podrobne zoznámia odborníci z oddelenia technológie RSM,
1. Mikroelektronika
Vo všetkých aplikačných odvetviach má polovodičový priemysel najnáročnejšie požiadavky na kvalitu cieľového naprašovacieho filmu. Teraz boli vyrobené silikónové doštičky s veľkosťou 12 palcov (300 epistaxí). Šírka prepojenia sa zmenšuje. Výrobcovia kremíkových doštičiek vyžadujú veľkú veľkosť, vysokú čistotu, nízku segregáciu a jemné zrno terča, čo si vyžaduje lepšiu mikroštruktúru vyrobeného terča.
2, displej
Plochý displej (FPD) v priebehu rokov výrazne ovplyvnil trh s počítačovými monitormi a televízormi založený na katódovej trubici (CRT) a bude tiež riadiť technologický a trhový dopyt po cieľových materiáloch ITO. Existujú dva druhy cieľov iTO. Jedným je použitie nanometrového stavu prášku oxidu india a oxidu cínu po spekaní, druhým je použitie terča zo zliatiny india a cínu.
3. Skladovanie
Pokiaľ ide o technológiu ukladania, vývoj pevných diskov s vysokou hustotou a veľkou kapacitou vyžaduje veľké množstvo obrovských reluktančných fóliových materiálov. Viacvrstvový kompozitný film CoF~Cu je široko používaná štruktúra obrieho reluktančného filmu. Cieľový materiál zo zliatiny TbFeCo potrebný pre magnetický disk je stále vo vývoji. Magnetický disk vyrobený s TbFeCo sa vyznačuje veľkou skladovacou kapacitou, dlhou životnosťou a opakovaným bezkontaktným vymazávaním.
Vývoj cieľového materiálu:
Rôzne typy naprašovacích tenkovrstvových materiálov sa široko používajú v polovodičových integrovaných obvodoch (VLSI), optických diskoch, planárnych displejoch a povrchových povlakoch obrobkov. Od 90. rokov 20. storočia synchrónny vývoj materiálu naprašovacích terčov a technológie naprašovania vo veľkej miere spĺňal potreby vývoja rôznych nových elektronických komponentov.
Čas odoslania: august-08-2022