Ytrium s vysokou čistotou – dôležitý člen PVD povlaku

Čo je terč na rozprašovanie ytria?
Ytriový terč je produkovaný hlavne kovovým prvkom ytriového rozprašovacieho terča, pretože prvok ytria (Y) je jedným z prvkov vzácnych zemín, takže ytriový terč je známy aj ako terč vzácnych zemín.
Ytriové terče sa používajú najmä v technológii naprašovania. Technológia naprašovania je jednou z technológií fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD) a je jednou z hlavných technológií na prípravu elektronických tenkovrstvových materiálov. Bombardovaním povrchu terča vysokoenergetickými časticami (ako sú ióny alebo elektrónové lúče) sa atómy alebo molekuly terča rozprášia a uložia na iný substrát, čím sa vytvorí požadovaný film alebo povlak.
Ytriový terč je jednoducho zdrojový materiál požadovaného filmu alebo povlaku pripraveného technológiou PVD.

čo jenaytriový rozprašovací terč používaný na?

Ytriové terče majú širokú škálu aplikácií v niekoľkých oblastiach, pričom tieto sú hlavné oblasti použitia:

1. Polovodičové materiály: V polovodičovom priemysle sa ytriové terčíky používajú na výrobu špecifických vrstiev v polovodičových materiáloch alebo elektronických súčiastkach, ako sú tranzistory, integrované obvody atď.
2. Optický povlak: V oblasti optiky je možné ytriové terče použiť na prípravu optických povlakov s vysokým indexom lomu a nízkou rýchlosťou rozptylu, ktoré zohrávajú dôležitú úlohu pri výrobe optických zariadení, ako sú lasery a optické filtre.
3. Nanášanie tenkých vrstiev: ytriový terč zaujíma dôležité postavenie v technológii nanášania tenkých vrstiev a jeho vysoká čistota, dobrá stabilita a špecifické fyzikálne a chemické vlastnosti z neho robia ideálnu voľbu na prípravu rôznych tenkých materiálov. Tieto tenkovrstvové materiály majú širokú škálu aplikácií v optických, elektronických, magnetických a iných oblastiach.
4. Lekárska oblasť: ytriové terče majú dôležité aplikácie v radiačnej medicíne, ako je zdroj röntgenových a gama lúčov, diagnostické zobrazovanie (ako je CT vyšetrenie) a radiačná terapia. Okrem toho môžu byť špecifické izotopy ytria (ako Y-90) použité aj v rádiofarmakách na cielenú liečbu špecifických rakovín.
5. Jadrový energetický priemysel: V jadrových reaktoroch sa ytriové terče používajú ako pákové materiály na riadenie rýchlosti a stability jadrových reakcií vďaka ich vynikajúcej schopnosti absorbovať neutróny.

Poznámka: Keďže výkonnostné požiadavky cieľových hodnôt ytria v rôznych oblastiach použitia môžu byť odlišné, je potrebné zvoliť vhodný cieľ podľa skutočnej situácie v konkrétnej aplikácii. (Ako špecifická čistota, pomer zloženia, veľkosť, tvar atď., prispôsobené podľa špecifických požiadaviek.)

Technológia výroby ytriových naprašovacích terčov?

1. Príprava prášku ytria 2. HIP, lisovanie 3. Spekanie pri vysokej teplote 4. Následné spracovanie (rezanie, leštenie atď.) 5. Čistenie a balenie

Poznámka: Okrem vyššie uvedených základných krokov, podľa konkrétnej metódy prípravy a potrieb aplikácie, môžu ytriové naprašovacie terče zahŕňať aj ďalšie kroky a technológie, ako je metóda naprašovania, metóda vákuového tavenia atď. Tieto metódy pomáhajú ďalej upravovať a optimalizovať výkon a štruktúra cieľového materiálu.

Ako si vybrať kvalitný naprašovací terč?

Nasleduje zoznam 7 dôležitých faktorov pre výber vysokokvalitných naprašovacích terčov:

1.Ahojgh čistota

Vysoko čisté terče majú lepšie materiálové vlastnosti a stabilnejšie fyzikálne a chemické vlastnosti, čo je nevyhnutné na zabezpečenie kvality a výkonu naprašovacích náterov. Špecifické požiadavky na čistotu by sa mali určiť podľa aplikačného scenára, niektoré jednoduché aplikačné scenáre nemusia sledovať ultra vysokú čistotu, aby sa nezvyšovali zbytočné náklady. To, čo vám vyhovuje, je najlepšie.

2.Stabilita

Rovnako dôležitá je stabilita terča, ktorá môže zabrániť strate materiálu alebo kolísaniu výkonu počas naprašovania. Preto je pri výbere potrebné zvoliť špeciálnu úpravu alebo dobrú stabilitu produktu.

3. Veľkosť a tvar

Veľkosť a tvar naprašovacieho terča by sa mal zvoliť podľa špecifických požiadaviek nanášacieho zariadenia, aby sa prispôsobil rôznym procesom naprašovania a potrebám výroby. Zabezpečenie, že cieľ je prispôsobený zariadeniu, zvyšuje účinnosť naprašovania a znižuje množstvo odpadu.

4.Hustota

Hustota je jedným z dôležitých ukazovateľov na meranie kvality cieľového materiálu. Materiál terča s vysokou hustotou môže zabezpečiť lepší efekt rozprašovania. Pri výbere by ste mali venovať pozornosť údajom o hustote cieľa a snažiť sa vybrať produkty s vyššou hustotou.

5. Presnosť spracovania

Presnosť spracovania cieľa je tiež jedným z faktorov, ktoré je potrebné zvážiť. Vo všeobecnosti sa vyžaduje, aby presnosť spracovania terča bola v rozmedzí ± 0,1 mm, aby sa zabezpečila stabilita procesu naprašovania a rovnomernosť kvality povlaku.

6. Špeciálne požiadavky

Pre niektoré špeciálne aplikačné scenáre, ako je potreba vysokej priepustnosti svetla, nízka absorpcia cieľa (optický povlak) alebo vysoká vodivosť, vysoká stabilita cieľa (elektronické pole), by sa mali zvoliť podľa špecifických potrieb zodpovedajúceho cieľa. typu.

7. Vyberte profesionálneho výrobcu alebo dodávateľa.