Ako všetci vieme, vo vákuovom poťahovaní sa bežne používa vákuové naparovanie a iónové naprašovanie. Aký je rozdiel medzi odparovaním a naprašovaním? Ďalej sa s nami podelia technickí experti z RSM.
Vákuový naparovací povlak má zahriať materiál, ktorý sa má odparovať, na určitú teplotu pomocou odporového ohrevu alebo elektrónového lúča a laserového bombardovania v prostredí so stupňom vákua nie menším ako 10-2Pa tak, aby tepelná vibračná energia molekúl, resp. atómy v materiáli prevyšujú väzbovú energiu povrchu, takže sa veľké množstvo molekúl alebo atómov vyparí alebo sublimuje a priamo sa vyzráža na substráte za vzniku filmu. Povlak iónovým naprašovaním využíva vysokorýchlostný pohyb kladných iónov generovaných výbojom plynu pod pôsobením elektrického poľa na bombardovanie terča ako katódy, takže atómy alebo molekuly v terči unikajú a vyzrážajú sa na povrch pokovovaného obrobku. požadovaný film.
Najbežnejšie používanou metódou vákuového odparovania je odporové zahrievanie, ktoré má výhody jednoduchej konštrukcie, nízkej ceny a pohodlnej prevádzky; Nevýhodou je, že nie je vhodný pre žiaruvzdorné kovy a dielektrické materiály odolné voči vysokým teplotám. Ohrev elektrónovým lúčom a laserový ohrev môžu prekonať nedostatky odporového ohrevu. Pri zahrievaní elektrónovým lúčom sa fokusovaný elektrónový lúč používa na priame zahrievanie bombardovaného materiálu a kinetická energia elektrónového lúča sa stáva tepelnou energiou, vďaka ktorej sa materiál odparuje. Laserový ohrev využíva ako zdroj ohrevu vysokovýkonný laser, ale vzhľadom na vysoké náklady na vysokovýkonný laser sa v súčasnosti dá použiť len v niekoľkých výskumných laboratóriách.
Technológia naprašovania sa líši od technológie vákuového naparovania. „Rozprašovanie“ sa týka javu, pri ktorom nabité častice bombardujú pevný povrch (cieľ) a spôsobujú, že pevné atómy alebo molekuly vystreľujú z povrchu. Väčšina emitovaných častíc je v atómovom stave, ktorý sa často nazýva rozprašované atómy. Rozprašované častice používané na bombardovanie cieľa môžu byť elektróny, ióny alebo neutrálne častice. Pretože ióny sa pod elektrickým poľom ľahko urýchľujú, aby získali potrebnú kinetickú energiu, väčšina z nich využíva ióny ako bombardované častice. Proces rozprašovania je založený na žiarivom výboji, to znamená, že rozprašovacie ióny pochádzajú z plynového výboja. Rôzne technológie naprašovania využívajú rôzne režimy žeravého výboja. DC diódové rozprašovanie využíva jednosmerný doutnavý výboj; Triódové rozprašovanie je žeravý výboj podporovaný horúcou katódou; RF naprašovanie využíva RF žiarivý výboj; Magnetrónové naprašovanie je žeravý výboj riadený prstencovým magnetickým poľom.
V porovnaní s povlakom s vákuovým naparovaním má povlak naprašovaním mnoho výhod. Napríklad môže byť rozprašovaná akákoľvek látka, najmä prvky a zlúčeniny s vysokou teplotou topenia a nízkym tlakom pár; Priľnavosť medzi naprašovaným filmom a substrátom je dobrá; Vysoká hustota filmu; Hrúbka filmu môže byť kontrolovaná a opakovateľnosť je dobrá. Nevýhodou je, že zariadenie je zložité a vyžaduje si vysokonapäťové zariadenia.
Okrem toho je kombináciou metódy odparovania a metódy naprašovania iónové pokovovanie. Výhodou tejto metódy je, že získaný film má silnú priľnavosť k substrátu, vysokú rýchlosť nanášania a vysokú hustotu filmu.
Čas odoslania: 20. júla 2022