V súčasnosti sú takmer všetky špičkové terče z kovovej medi s ultra vysokou čistotou, ktoré vyžaduje priemysel IC, monopolizované niekoľkými veľkými zahraničnými nadnárodnými spoločnosťami. Všetky ultračisté medené terče, ktoré potrebuje domáci priemysel IC, musia byť dovezené, čo je nielen drahé, ale aj komplikované v dovozných postupoch. Preto Čína naliehavo potrebuje zlepšiť vývoj a overovanie medených terčov s ultra vysokou čistotou (6N) naprašovaním. . Poďme sa pozrieť na kľúčové body a ťažkosti pri vývoji medených naprašovacích terčov s ultra vysokou čistotou (6N).
1、Vývoj materiálov s ultra vysokou čistotou
Technológia čistenia vysoko čistých kovov Cu, Al a Ta v Číne je ďaleko od technológie v priemyselne vyspelých krajinách. V súčasnosti väčšina kovov vysokej čistoty, ktoré je možné poskytnúť, nemôže spĺňať kvalitatívne požiadavky integrovaných obvodov pre naprašovacie terče podľa konvenčných metód analýzy všetkých prvkov v priemysle. Počet inklúzií v cieli je príliš vysoký alebo nerovnomerne rozdelený. Častice sa často tvoria na plátku počas naprašovania, čo vedie ku skratu alebo prerušeniu obvodu prepojenia, čo vážne ovplyvňuje výkon filmu.
2、Vývoj technológie prípravy medených naprašovacích terčov
Vývoj technológie prípravy medeného naprašovacieho terča sa zameriava hlavne na tri aspekty: veľkosť zŕn, riadenie orientácie a rovnomernosť. Polovodičový priemysel má najvyššie požiadavky na naprašovacie terče a odparovacie suroviny. Má veľmi prísne požiadavky na kontrolu zrnitosti povrchu a kryštálovej orientácie terča. Veľkosť zrna terča musí byť kontrolovaná na 100μ M nižšie je preto kontrola veľkosti zŕn a prostriedky korelačnej analýzy a detekcie veľmi dôležité pre vývoj kovových cieľov.
3、Vývoj analýzy atestovanie technológie
Vysoká čistota terča znamená redukciu nečistôt. V minulosti sa na stanovenie nečistôt používala indukčne viazaná plazma (ICP) a atómová absorpčná spektrometria, no v posledných rokoch sa postupne ako štandard začala používať analýza kvality žeravého výboja (GDMS) s vyššou citlivosťou. metóda. Metóda pomeru zvyškového odporu RRR sa používa najmä na stanovenie elektrickej čistoty. Princípom jeho stanovenia je hodnotenie čistoty základného kovu meraním stupňa elektrónovej disperzie nečistôt. Pretože ide o meranie odporu pri izbovej teplote a veľmi nízkej teplote, je jednoduché vziať číslo. S cieľom preskúmať podstatu kovov je v posledných rokoch veľmi aktívny výskum ultra vysokej čistoty. V tomto prípade je hodnota RRR najlepším spôsobom hodnotenia čistoty.
Čas odoslania: máj-06-2022