1. Metóda magnetrónového naprašovania:
Magnetrónové naprašovanie možno rozdeliť na jednosmerné naprašovanie, strednofrekvenčné naprašovanie a RF naprašovanie
A. Napájanie jednosmerným naprašovaním je lacné a hustota naneseného filmu je nízka. Vo všeobecnosti sa domáce fototermické a tenkovrstvové batérie používajú s nízkou energiou a rozprašovacím terčom je vodivý kovový terč.
B. Energia vysokofrekvenčného naprašovania je vysoká a terčom naprašovania môže byť nevodivý terč alebo vodivý terč.
C. Strednofrekvenčný naprašovací terč môže byť keramický terč alebo kovový terč.
2. Klasifikácia a použitie naprašovacích terčov
Existuje mnoho druhov naprašovacích terčov a metódy klasifikácie terčov sú tiež odlišné. Podľa tvaru sa delia na dlhý terč, štvorcový terč a okrúhly terč; Podľa zloženia sa dá rozdeliť na kovový terč, terč zo zliatiny a terč z keramickej zlúčeniny; Podľa rôznych oblastí použitia je možné ich rozdeliť na keramické terče súvisiace s polovodičmi, keramické terče so záznamovým médiom, zobrazovacie keramické terče atď. Naprašovacie terče sa používajú hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako je priemysel na ukladanie informácií. V tomto odvetví sa naprašovacie terče používajú na prípravu relevantných tenkovrstvových produktov (pevný disk, magnetická hlava, optický disk atď.). V súčasnosti. S neustálym rozvojom informačného priemyslu sa dopyt po keramických terčoch na záznamové médium na trhu zvyšuje. Výskum a výroba terčov záznamových médií sa stali stredobodom rozsiahlej pozornosti.
Čas odoslania: 11. máj 2022