Trhliny v naprašovacích terčoch sa zvyčajne vyskytujú v keramických naprašovacích terčoch, ako sú oxidy, karbidy, nitridy a krehké materiály, ako je chróm, antimón, bizmut. Teraz nechajte technických expertov RSM vysvetliť, prečo terč naprašovania praská a aké preventívne opatrenia možno prijať, aby sa tejto situácii zabránilo.
Keramické terče alebo terče z krehkého materiálu vždy obsahujú vlastné napätie. Tieto vnútorné napätia vznikajú v cieľovom výrobnom procese. Navyše tieto napätia nie sú úplne eliminované procesom žíhania, pretože sú inherentnými vlastnosťami týchto materiálov. V procese naprašovania bombardovanie plynových iónov prenáša ich hybnosť na cieľové atómy, čím im poskytuje dostatok energie na ich oddelenie od mriežky. Tento exotermický prenos hybnosti spôsobuje zvýšenie cieľovej teploty, ktorá môže dosiahnuť 1 000 000 ℃ na atómovej úrovni.
Tieto tepelné šoky mnohonásobne zvyšujú existujúce vnútorné napätie v cieli. V tomto prípade, ak teplo nie je správne odvádzané, terč sa môže zlomiť. Aby sa zabránilo prasknutiu terča, treba klásť dôraz na odvod tepla. Na odstránenie nežiaducej tepelnej energie z cieľa je potrebný vodný chladiaci mechanizmus. Ďalšou otázkou, ktorú treba zvážiť, je zvýšenie výkonu. Príliš veľa energie aplikovanej v krátkom čase tiež spôsobí tepelný šok na cieľ. Okrem toho navrhujeme naviazať tieto terče na základnú dosku, čo môže nielen poskytnúť podporu pre cieľ, ale aj podporiť lepšiu výmenu tepla medzi terčom a vodou. Ak má terč praskliny, ale je spojený so zadnou doskou, možno ho stále použiť.
Rich Special Materials Co., Ltd. môže poskytnúť naprašovacie terče so základnou doskou. Môže byť prispôsobený podľa požiadaviek zákazníkov na materiál, hrúbku a typ lepenia.
Čas odoslania: 21. september 2022