Rich Special Material Co., Ltd. môže vyrábať vysoko čisté hliníkové naprašovacie terče, medené naprašovacie terče, tantalové naprašovacie terče, titánové naprašovacie terče atď. pre polovodičový priemysel.
Polovodičové čipy majú vysoké technické požiadavky a vysoké ceny na naprašovacie terče. Ich požiadavky na čistotu a technológiu naprašovacích terčov sú vyššie ako požiadavky na ploché panely, solárne články a iné aplikácie. Polovodičové čipy stanovujú mimoriadne prísne normy na čistotu a vnútornú mikroštruktúru naprašovacích terčov. Ak je obsah nečistôt v rozprašovacom terči príliš vysoký, vytvorený film nemôže spĺňať požadované elektrické vlastnosti. V procese naprašovania je ľahké vytvárať častice na plátku, čo vedie ku skratu alebo poškodeniu obvodu, čo vážne ovplyvňuje výkon filmu. Všeobecne povedané, najvyššia čistota naprašovania sa vyžaduje na výrobu čipov, ktorá je zvyčajne 99,9995 % (5N5) alebo vyššia.
Naprašovacie terče sa používajú na výrobu bariérových vrstiev a obalových vrstiev kovových vodičov. V procese výroby plátku sa terč používa hlavne na výrobu vodivej vrstvy, bariérovej vrstvy a kovovej mriežky plátku. V procese balenia čipov sa naprašovací terč používa na vytváranie kovových vrstiev, vrstiev elektroinštalácie a iných kovových materiálov pod hrbolčekmi. Hoci množstvo cieľových materiálov používaných pri výrobe doštičiek a balení čipov je malé, podľa štatistík SEMI predstavujú náklady na cieľové materiály pri výrobe a balení doštičiek približne 3 %. Kvalita naprašovacieho terča však priamo ovplyvňuje rovnomernosť a výkon vodivej vrstvy a bariérovej vrstvy, čím ovplyvňuje prenosovú rýchlosť a stabilitu čipu. Preto je naprašovací terč jednou z kľúčových surovín pre výrobu polovodičov
Čas odoslania: 16. novembra 2022