Ako všetci vieme, existuje veľa špecifikácií naprašovacích terčov a ich aplikačné oblasti sú tiež veľmi široké. Typy terčov bežne používaných v rôznych oblastiach sa tiež líšia. Dnes sa s editorom RSM dozvieme o klasifikácii cieľových aplikačných polí naprašovania!
1、 Definícia rozprašovacieho terča
Naprašovanie je jednou z hlavných technológií prípravy tenkovrstvových materiálov. Využíva ióny produkované zdrojom iónov na zrýchlenie a zhromaždenie vo vákuu na vytvorenie vysokorýchlostného iónového lúča, bombardovanie pevného povrchu a ióny si vymieňajú kinetickú energiu s atómami na pevnom povrchu, takže atómy na pevnej látke povrch sa oddelí od pevnej látky a ukladá sa na povrch substrátu. Bombardovaná tuhá látka je surovinou na prípravu tenkého filmu naneseného naprašovaním, ktorý sa nazýva naprašovací terč.
2、 Klasifikácia aplikačných polí terča naprašovania
1. Polovodičový terč
(1) Spoločné ciele: spoločné ciele v tejto oblasti zahŕňajú kovy s vysokou teplotou topenia, ako je tantal / meď / titán / hliník / zlato / nikel.
(2) Použitie: používa sa hlavne ako kľúčové suroviny pre integrované obvody.
(3) Požiadavky na výkon: vysoké technické požiadavky na čistotu, veľkosť, integráciu atď.
2. Cieľ pre plochý displej
(1) Spoločné ciele: spoločné ciele v tejto oblasti zahŕňajú hliník / meď / molybdén / nikel / niób / kremík / chróm atď.
(2) Použitie: tento druh terča sa väčšinou používa na rôzne typy veľkoplošných filmov, ako sú televízory a notebooky.
(3) Požiadavky na výkon: vysoké požiadavky na čistotu, veľkú plochu, jednotnosť atď.
3. Cieľový materiál pre solárny článok
(1) Spoločné ciele: hliník / meď / molybdén / chróm / ITO / Ta a iné ciele pre solárne články.
(2) Použitie: používa sa hlavne v „okennej vrstve“, bariérovej vrstve, elektróde a vodivom filme.
(3) Požiadavky na výkon: vysoké technické požiadavky a široký rozsah použitia.
4. Cieľ pre ukladanie informácií
(1) Spoločné ciele: spoločné ciele pre kobalt / nikel / ferozliatina / chróm / telúr / selén a iné materiály na uchovávanie informácií.
(2) Použitie: tento druh cieľového materiálu sa používa hlavne pre magnetickú hlavu, strednú vrstvu a spodnú vrstvu optickej jednotky a optického disku.
(3) Požiadavky na výkon: vyžaduje sa vysoká hustota úložiska a vysoká prenosová rýchlosť.
5. Cieľ pre úpravu nástroja
(1) Spoločné ciele: spoločné ciele, ako napríklad zliatina titánu / zirkónu / chrómu a hliníka modifikovaná nástrojmi.
(2) Použitie: zvyčajne sa používa na spevnenie povrchu.
(3) Požiadavky na výkon: vysoké požiadavky na výkon a dlhá životnosť.
6. Ciele pre elektronické zariadenia
(1) Spoločné ciele: spoločné terče z hliníkovej zliatiny/silicidov pre elektronické zariadenia
(2) Účel: Všeobecne sa používa pre tenkovrstvové rezistory a kondenzátory.
(3) Požiadavky na výkon: malá veľkosť, stabilita, nízky teplotný koeficient odporu
Čas odoslania: 27. júla 2022