Terčový materiál z oxidu hlinitého, materiál zložený hlavne z vysoko čistého oxidu hlinitého (Al2O3), sa používa v rôznych technológiách prípravy tenkých vrstiev, ako je magnetrónové naprašovanie, naparovanie elektrónovým lúčom atď. Oxid hlinitý ako tvrdý a chemicky stabilný materiál, jeho cieľový materiál môže poskytnúť stabilný zdroj rozprašovania počas procesu prípravy tenkého filmu, čím sa získajú tenkovrstvové materiály s vynikajúcimi fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami. Je široko používaný v polovodičoch, optoelektronike, dekorácii a ochrane atď.
Jeho hlavné oblasti použitia
Aplikácie na výrobu integrovaných obvodov: Terče z oxidu hlinitého sa používajú vo výrobnom procese integrovaných obvodov na vytvorenie vysokokvalitných izolačných a dielektrických vrstiev, čím sa zlepšuje výkon a spoľahlivosť obvodov.
Aplikácia optoelektronických zariadení: V optoelektronických zariadeniach, ako sú LED a fotovoltaické moduly, sa terče z oxidu hlinitého používajú na prípravu priehľadných vodivých filmov a antireflexných vrstiev, čím sa zlepšuje účinnosť fotoelektrickej konverzie zariadení.
Aplikácia ochranného náteru: Tenký film pripravený z terčov z oxidu hlinitého sa používa na komponenty v priemysle, ako je letectvo a automobilový priemysel, aby sa vytvorila ochranná vrstva odolná voči opotrebovaniu a korózii.
Aplikácia dekoratívneho náteru: V oblasti nábytku, stavebných materiálov atď. sa film oxidu hlinitého používa ako dekoratívny náter, ktorý poskytuje estetiku a zároveň chráni podklad pred eróziou vonkajšieho prostredia.
Aerokozmické aplikácie: V oblasti letectva sa terče z oxidu hlinitého používajú na prípravu ochranných vrstiev odolných voči vysokej teplote a vysokému tlaku, ktoré chránia kritické komponenty pred stabilnou prevádzkou v špeciálnych prostrediach.
Čas odoslania: 27. júna 2024