Technický konzultant RSM sa s vami podelí o výhody valcových a planárnych magnetrónových naprašovacích terčov? V porovnaní s inými magnetrónovými naprašovacími terčíkmi si valcové a rovinné magnetrónové naprašovacie terče zachovávajú výhody dobrej rovnomernosti povlaku pravouhlých planárnych terčov a môžu maximalizovať využitie terčov prostredníctvom nasledujúcich dvoch spôsobov:
(1) Keď dve skupiny (štyri) prstencových jamiek na povrchu terča dosiahnu určitú hĺbku, jadro terča (časť magnetu) sa môže otočiť o 45° vzhľadom na trubicu terča, takže ostatné oblasti na trubici terča ktoré neboli skorodované, môžu byť použité;
(2) Keď je jadro terča valcového a planárneho magnetrónového naprašovacieho terča konštruované ako rotačné jadro terča (jadro terča sa pri naprašovaní otáča), povrch terča je možné rovnomerne odprašovať vrstvu po vrstve bez jamiek. V tomto čase bude terč využívaný najefektívnejšie a miera využitia terča môže dosiahnuť 50 % ~ 60 % Ak je cieľovým materiálom drahý kov, má to samozrejme veľký význam.
Použitím princípu magnetu s pólovou pätkou v koaxiálnom valcovom magnetrónovom rozprašovacom terči na vyriešenie problému koncového magnetického poľa je možné obdĺžnikový rovinný terč premeniť na valcový a rovinný magnetrónový naprašovací terč, terč môže maximalizovať mieru využitia terča pri zachovaní dobrej rovnomernosti povlaku obdĺžnikového rovinného terča, aby sa zlepšili ekonomické výhody.
Čas odoslania: Júl-04-2022