මැග්නට්‍රෝන් ස්පුටරින් ආලේපන ඉලක්ක ගැන ඔබට පැහැදිලිද? දැන් අපි ඔබ සමඟ මැග්නට්‍රෝන් ඉසින ඉලක්කය පිළිබඳ සාමාන්‍ය බුද්ධියක් බෙදා ගනිමු.
ලෝහ ඉසින ආෙල්පන ඉලක්කය, මිශ්‍ර ලෝහ ඉසින ආෙල්පන ඉලක්කය, සෙරමික් ඉසින ආෙල්පන ඉලක්කය, බෝරයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, කාබයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, ෆ්ලෝරයිඩ් සෙරමික් ඉසීම ඉලක්කය, නයිට්‍රයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, සෙරමික් ඔක්සයිඩ් ඉලක්ක කිරීම සිලිසයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, සල්ෆයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, ටෙලුරයිඩ් සෙරමික් ඉසින ඉලක්කය, අනෙකුත් සෙරමික් ඉලක්ක, ක්‍රෝමියම් මාත්‍රණය කළ සිලිකන් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ඉලක්කය (CR SiO), ඉන්ඩියම් ෆොස්ෆයිඩ් ඉලක්කය (INP), ඊයම් ආසනයිඩ් ඉලක්කය (pbassenide) .
ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ ඉහළ ඝනත්ව ඉදිකිරීම් ඉලක්කවලට ඇතුළත් වන්නේ:
ස්පුටර් කිරීමේ ඉලක්කය (සංශුද්ධතාවය: 99.9% - 99.999%)
1. ලෝහ ඉලක්කය:
නිකල් ඉලක්කය, Ni, ටයිටේනියම් ඉලක්කය, Ti, සින්ක් ඉලක්කය, Zn, ක්‍රෝමියම් ඉලක්කය, Cr, මැග්නීසියම් ඉලක්කය, Mg, නයෝබියම් ඉලක්කය, Nb, ටින් ඉලක්කය, Sn, ඇලුමිනියම් ඉලක්කය, Al, ඉන්ඩියම් ඉලක්කය, තුළ, යකඩ ඉලක්කය, Fe සර්කෝනියම් ඇලුමිනියම් ඉලක්කය, zral, ටයිටේනියම් ඇලුමිනියම් ඉලක්කය, TiAl, සර්කෝනියම් ඉලක්කය, Zr, ඇලුමිනියම් සිලිකන් ඉලක්කය, AlSi, සිලිකන් ඉලක්කය, Si, තඹ ඉලක්කය, Cu, ටැන්ටලම් ඉලක්කය, t, a, Germanium ඉලක්කය, Ge, රිදී ඉලක්කය, Ag, කොබෝල්ට් ඉලක්කය, Co, රන් ඉලක්කය, Au, ගැඩොලිනියම් ඉලක්කය, Gd, ලැන්තනම් ඉලක්කය , La, ytrium ඉලක්කය, y, cerium ඉලක්කය, CE, ටංස්ටන් ඉලක්කය, W, මල නොබැඳෙන වානේ ඉලක්කය, නිකල් chromium target NiCr, hafnium ඉලක්කය, HF, molybdenum ඉලක්කය, Mo, යකඩ නිකල් ඉලක්කය, FeNi, ටංස්ටන් ඉලක්කය, W, ආදිය.
2. සෙරමික් ඉලක්කය
ITO ඉලක්කය, මැග්නීසියම් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, යකඩ ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් කාබයිඩ් ඉලක්කය, ටයිටේනියම් නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, ක්‍රෝමියම් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, සින්ක් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, සින්ක් සල්ෆයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, සීරියම් ඩයිකොන් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය , niobium pentoxide ඉලක්කය, ටයිටේනියම් ඩයොක්සයිඩ් ඉලක්කය, සර්කෝනියම් ඩයොක්සයිඩ් ඉලක්කය, හැෆ්නියම් ඩයොක්සයිඩ් ඉලක්කය, ටයිටේනියම් ඩයිබොරයිඩ් ඉලක්කය, සර්කෝනියම් ඩයිබොරයිඩ් ඉලක්කය, ටංස්ටන් ට්‍රයිඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, ඇලුමිනියම් ට්‍රයිඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, ටැන්ටලම් පෙන්ටොක්සයිඩ් ඉලක්කය, නියෝබියම් පෙන්ටොක්සයිඩ් ඉලක්කය, මැග්නීසියම් ට්‍රයිමින් ෆ්ලෝරයිඩ් ඉලක්කය නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, බෝරෝන් නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, ටයිටේනියම් නයිට්‍රයිඩ් ඉලක්කය, සිලිකන් කාබයිඩ් ඉලක්කය, ලිතියම් නියෝබේට් ඉලක්කය, ප්‍රසයෝඩයිමියම් ටයිටනේට් ඉලක්කය, බේරියම් ටයිටනේට් ඉලක්කය, ලැන්තනම් ටයිටනේට් ඉලක්කය, නිකල් ඔක්සයිඩ් ඉලක්කය, ස්පුටරින් ඉලක්කය යනාදිය.
පසු කාලය: මැයි-23-2022