බොහෝ පරිශීලකයින් ඉසින ඉලක්කයේ නිෂ්පාදිතය ගැන අසා තිබිය යුතුය, නමුත් ඉලක්කය ඉසිලීමේ මූලධර්මය සාපේක්ෂව නුහුරු විය යුතුය. දැන්, කතෘපොහොසත් විශේෂ ද්රව්ය (RSM) sputtering target හි magnetron sputtering මූලධර්ම බෙදා ගනී.
ඉසින ලද ඉලක්ක ඉලෙක්ට්‍රෝඩය (කැතෝඩය) සහ ඇනෝඩය අතර විකලාංග චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක් සහ විද්යුත් ක්ෂේත්‍රයක් එකතු කරනු ලැබේ, අවශ්‍ය නිෂ්ක්‍රීය වායුව (සාමාන්‍යයෙන් Ar වායුව) ඉහළ රික්තක කුටීරයට පුරවනු ලැබේ, ස්ථිර චුම්බකයෙන් 250 ~ 350 Gauss චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක් සාදයි. ඉලක්ක දත්ත මතුපිට, සහ අධි වෝල්ටීයතා විද්යුත් ක්ෂේත්රය සමඟ විකලාංග විද්යුත් චුම්භක ක්ෂේත්රය පිහිටුවා ඇත.
විද්යුත් ක්ෂේත්‍රයේ බලපෑම යටතේ Ar වායුව ධන අයන සහ ඉලෙක්ට්‍රෝන බවට අයනීකරණය වේ. ඉලක්කයට යම් ඍණ අධි වෝල්ටීයතාවක් එකතු වේ. ඉලක්ක ධ්‍රැවයෙන් විමෝචනය වන ඉලෙක්ට්‍රෝන මත චුම්බක ක්ෂේත්‍රයේ බලපෑම සහ වැඩ කරන වායුවේ අයනීකරණ සම්භාවිතාව වැඩි වීම, කැතෝඩය අසල අධික ඝනත්ව ප්ලාස්මාවක් සාදයි. Lorentz බලයේ බලපෑම යටතේ, Ar අයන ඉලක්ක මතුපිටට ත්වරණය වන අතර ඉලක්ක මතුපිටට ඉතා ඉහළ වේගයකින් බෝම්බ හෙලයි, ඉලක්කය මත ඉසින ලද පරමාණු ගම්‍යතා පරිවර්තන මූලධර්මය අනුගමනය කරන අතර ඉහළ චාලක ශක්තියෙන් ඉලක්ක මතුපිටින් උපස්ථරයට පියාසර කරයි. චිත්‍රපට තැන්පත් කිරීමට.
Magnetron sputtering සාමාන්‍යයෙන් වර්ග දෙකකට බෙදා ඇත: Tributary sputtering සහ RF sputtering. අතු ගංගා ඉසින උපකරණවල මූලධර්මය සරල වන අතර, ලෝහ ඉසින විට එහි අනුපාතය ද වේගවත් වේ. RF sputtering බහුලව භාවිතා වේ. සන්නායක ද්රව්ය ඉසීමට අමතරව, සන්නායක නොවන ද්රව්ය ද ඉසිලිය හැක. ඒ අතරම, එය ඔක්සයිඩ, නයිට්රයිඩ, කාබයිඩ් සහ අනෙකුත් සංයෝගවල ද්රව්ය සකස් කිරීම සඳහා ප්රතික්රියාකාරක ස්පුටර් කිරීම ද සිදු කරයි. RF සංඛ්‍යාතය වැඩි කළහොත් එය මයික්‍රෝවේව් ප්ලාස්මා ඉසිලීමක් බවට පත්වේ. දැන්, ඉලෙක්ට්‍රෝන සයික්ලොට්‍රෝන අනුනාදනය (ECR) මයික්‍රෝවේව් ප්ලාස්මා ස්පුටරින් බහුලව භාවිතා වේ.
පසු කාලය: මැයි-31-2022