EMI ආවරණ ද්‍රව්‍ය බෙදා හැරීම: ස්පුටර් කිරීම සඳහා විකල්පයක්

විද්යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් (EMI) වලින් ඉලෙක්ට්රොනික පද්ධති ආරක්ෂා කිරීම උණුසුම් මාතෘකාවක් බවට පත්ව ඇත. 5G ප්‍රමිතීන්හි තාක්‍ෂණික දියුණුව, ජංගම ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා රැහැන් රහිත ආරෝපණය, චැසියට ඇන්ටෙනා ඒකාබද්ධ කිරීම සහ පැකේජයේ පද්ධතිය (SiP) හඳුන්වාදීම වඩා හොඳ EMI ආවරණයක් සහ සංරචක පැකේජවල සහ විශාල මොඩියුලර් යෙදුම්වල හුදකලා වීමේ අවශ්‍යතාවයට හේතු වේ. විධිමත් පලිහක් සඳහා, පැකේජයේ පිටත පෘෂ්ඨයන් සඳහා EMI ආවරණ ද්‍රව්‍ය ප්‍රධාන වශයෙන් තැන්පත් කරනු ලබන්නේ අභ්‍යන්තර ඇසුරුම් යෙදුම් සඳහා පෙර ඇසුරුම් තාක්ෂණය භාවිතයෙන් භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) ක්‍රියාවලීන් භාවිතා කරමිනි. කෙසේ වෙතත්, ඉසින තාක්‍ෂණයේ පරිමාණය සහ පිරිවැය ගැටළු මෙන්ම පරිභෝජන ද්‍රව්‍යවල දියුණුව, EMI ආවරණ සඳහා විකල්ප ඉසින ක්‍රම සලකා බැලීමට හේතු වේ.
තීරු සහ විශාල SiP පැකේජවල තනි සංරචකවල බාහිර මතුපිටට EMI ආවරණ ද්‍රව්‍ය යෙදීම සඳහා ඉසින ආලේපන ක්‍රියාවලීන් සංවර්ධනය කිරීම කතුවරුන් විසින් සාකච්ඡා කරනු ඇත. කර්මාන්තය සඳහා අලුතින් සංවර්ධනය කරන ලද සහ වැඩිදියුණු කරන ලද ද්‍රව්‍ය සහ උපකරණ භාවිතා කරමින්, මයික්‍රෝන 10 ට අඩු පැකේජ සඳහා ඒකාකාර ආවරණයක් සහ පැකේජ කොන් සහ පැකේජ පැති බැම්ම වටා ඒකාකාර ආවරණයක් සපයන ක්‍රියාවලියක් පෙන්නුම් කර ඇත. පැති බිත්ති ඝණකම අනුපාතය 1: 1. වැඩිදුර පර්යේෂණවලින් පෙන්නුම් කර ඇත්තේ ඉසින අනුපාතය වැඩි කිරීමෙන් සහ පැකේජයේ නිශ්චිත ප්‍රදේශවලට තෝරාගෙන ආලේපන යෙදීමෙන් සංරචක පැකේජ සඳහා EMI ආවරණ යෙදීමේ නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකි බවයි. මීට අමතරව, උපකරණවල අඩු ප්රාග්ධන පිරිවැය සහ ඉසින උපකරණවලට සාපේක්ෂව උපකරණ ඉසීම සඳහා කෙටි සැකසුම් කාලය නිෂ්පාදන ධාරිතාව වැඩි කිරීමේ හැකියාව වැඩි දියුණු කරයි.
ජංගම ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ ඇසුරුම් කිරීමේදී, SiP මොඩියුලවල සමහර නිෂ්පාදකයින් විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වලින් ආරක්ෂා වීම සඳහා SiP තුළ ඇති සංරචක එකිනෙකින් සහ පිටතින් හුදකලා කිරීමේ ගැටලුවට මුහුණ දෙයි. අභ්‍යන්තර සංරචක වටා කට්ට කපා ඇති අතර, නඩුවේ ඇතුළත කුඩා ෆැරඩේ කූඩුවක් සෑදීම සඳහා කට්ටවලට සන්නායක පේස්ට් යොදනු ලැබේ. අගල් නිර්මාණය පටු වීම නිසා, අගල් පුරවන ද්රව්ය තැබීමේ පරිමාව හා නිරවද්යතාව පාලනය කිරීම අවශ්ය වේ. නවතම උසස් පිපිරුම් නිෂ්පාදන පරිමාව පාලනය කරන අතර පටු වායු ප්‍රවාහ පළල නිවැරදි අගල් පිරවීම සහතික කරයි. අවසාන පියවරේදී, මෙම පේස්ට් පිරවූ අගල්වල මුදුන් බාහිර EMI ආවරණ ආලේපනයක් යෙදීමෙන් එකට අලවා ඇත. ඉසින ආලේපනය මගින් ඉසින උපකරණ භාවිතය හා සම්බන්ධ ගැටළු විසඳන අතර වැඩිදියුණු කරන ලද EMI ද්‍රව්‍ය සහ තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවලින් ප්‍රයෝජන ගන්නා අතර කාර්යක්ෂම අභ්‍යන්තර ඇසුරුම් ක්‍රම භාවිතා කරමින් SiP පැකේජ නිෂ්පාදනය කිරීමට ඉඩ සලසයි.
මෑත වසරවලදී, EMI ආවරණ ප්‍රධාන අවධානයට ලක්ව ඇත. 5G රැහැන් රහිත තාක්‍ෂණය ක්‍රමානුකූලව ප්‍රධාන ධාරාවේ භාවිතා කිරීම සහ 5G අන්තර්ජාලයේ දේවල් (IoT) සහ මෙහෙවර-විවේචනාත්මක සන්නිවේදනයන් වෙත ගෙන එන අනාගත අවස්ථා සමඟ, විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වලින් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ එකලස්කිරීම් ඵලදායී ලෙස ආරක්ෂා කිරීමේ අවශ්‍යතාවය වැඩි වී ඇත. අත්යවශ්ය. එළඹෙන 5G රැහැන් රහිත ප්‍රමිතිය සමඟින්, 600 MHz සිට 6 GHz දක්වා සහ මිලිමීටර තරංග කලාපවල සංඥා සංඛ්‍යාත තාක්ෂණය අනුගමනය කරන විට වඩාත් පොදු සහ බලවත් වනු ඇත. සමහර යෝජිත භාවිත අවස්ථා සහ ක්‍රියාත්මක කිරීම්වලට කාර්යාල ගොඩනැගිලි සඳහා ජනෙල් කවුළු හෝ කෙටි දුරක් සන්නිවේදනය පවත්වා ගැනීමට උපකාර වන පොදු ප්‍රවාහනය ඇතුළත් වේ.
5G සංඛ්‍යාතවලට බිත්ති සහ අනෙකුත් දෘඩ වස්තූන් විනිවිද යාමේ අපහසුතා ඇති නිසා, අනෙකුත් යෝජිත ක්‍රියාත්මක කිරීම්වලට ප්‍රමාණවත් ආවරණයක් සැපයීම සඳහා නිවෙස් සහ කාර්යාල ගොඩනැගිලිවල රිපීටර් ඇතුළත් වේ. මෙම සියලු ක්‍රියාවන් 5G සංඛ්‍යාත කලාපවල සංඥා වල ව්‍යාප්තිය වැඩි කිරීමටත්, මෙම සංඛ්‍යාත කලාපවල විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම්වලට නිරාවරණය වීමේ වැඩි අවදානමක් සහ ඒවායේ ප්‍රතිමූර්තියට හේතු වනු ඇත.
වාසනාවකට මෙන්, බාහිර සංරචක සහ System-in-Package (SiP) උපාංග සඳහා තුනී, සන්නායක ලෝහ ආලේපනයක් යෙදීමෙන් EMI ආරක්ෂා කළ හැක (රූපය 1). අතීතයේදී, EMI ආවරණ යොදනු ලැබුවේ සංරචක කාණ්ඩ වටා මුද්දර සහිත ලෝහ කෑන් තැබීමෙන් හෝ තනි සංරචක සඳහා ආවරණ පටියක් යෙදීමෙනි. කෙසේ වෙතත්, පැකේජ සහ අවසාන උපාංග කුඩා කිරීම අඛණ්ඩව සිදු වන බැවින්, ජංගම සහ පැළඳිය හැකි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල වැඩි වැඩියෙන් භාවිතා වන විවිධ, විකලාංග නොවන පැකේජ සංකල්ප හැසිරවීමේ ප්‍රමාණයේ සීමාවන් සහ නම්‍යශීලී බව හේතුවෙන් මෙම ආවරණ ප්‍රවේශය පිළිගත නොහැකි වේ.
එලෙසම, සමහර ප්‍රමුඛ පෙළේ පැකේජ සැලසුම්, පැකේජයේ සම්පූර්ණ බාහිර කොටස සම්පූර්ණ පැකේජයකින් ආවරණය කරනවාට වඩා, EMI ආවරණ සඳහා පැකේජයේ ඇතැම් ප්‍රදේශ පමණක් වරණාත්මකව ආවරණය කිරීම කරා ගමන් කරයි. බාහිර EMI ආවරණ වලට අමතරව, නව SiP උපාංග සඳහා එකම පැකේජයේ ඇති විවිධ සංරචක නිසි ලෙස හුදකලා කිරීම සඳහා පැකේජය තුළට සෘජුවම ගොඩනගා ඇති අතිරේක බිල්ට් පලිහක් අවශ්‍ය වේ.
වාත්තු කරන ලද සංරචක පැකේජ හෝ අච්චු කරන ලද SiP උපාංග මත EMI ආවරණ නිර්මාණය කිරීමේ ප්‍රධාන ක්‍රමය වන්නේ මතුපිටට ලෝහ ස්ථර කිහිපයක් ඉසීමයි. ස්පුටර් කිරීම මගින් පිරිසිදු ලෝහ හෝ ලෝහ මිශ්‍ර ලෝහවල ඉතා තුනී ඒකාකාර ආලේපන 1 සිට 7 µm ඝණකම සහිත ඇසුරුම් මතුපිට තැන්පත් කළ හැක. ස්පුටරින් ක්‍රියාවලියට ඇන්ග්ස්ට්‍රොම් මට්ටමේ ලෝහ තැන්පත් කිරීමේ හැකියාව ඇති නිසා, එහි ආෙල්පනවල විද්‍යුත් ගුණ සාමාන්‍ය ආවරණ යෙදුම් සඳහා මෙතෙක් ඵලදායී වී ඇත.
කෙසේ වෙතත්, ආරක්ෂාව සඳහා අවශ්යතාවය වර්ධනය වන විට, නිෂ්පාදකයින් සහ සංවර්ධකයින් සඳහා පරිමාණය කළ හැකි ක්රමයක් ලෙස භාවිතා කිරීම වළක්වන සැලකිය යුතු ආවේණික අවාසි ඇත. ඉසින උපකරණවල ආරම්භක ප්‍රාග්ධන පිරිවැය ඩොලර් මිලියන ගණනක පරාසයක ඉතා ඉහළ ය. බහු කුටීර ක්රියාවලිය හේතුවෙන්, ඉසින උපකරණ රේඛාවට විශාල ප්රදේශයක් අවශ්ය වන අතර සම්පූර්ණ ඒකාබද්ධ මාරු පද්ධතියක් සහිත අතිරේක නිශ්චල දේපල සඳහා අවශ්යතාවය තවදුරටත් වැඩි කරයි. ප්ලාස්මා උද්දීපනය මගින් ද්‍රව්‍ය ස්පූටර් ඉලක්කයේ සිට උපස්ථරය දක්වා ඉසින බැවින් සාමාන්‍ය ස්පුටර් කුටි තත්ව 400°C පරාසයට ළඟා විය හැක; එබැවින්, අත්විඳින ලද උෂ්ණත්වය අඩු කිරීම සඳහා උපස්ථරය සිසිල් කිරීම සඳහා "සීතල තහඩු" සවිකිරීමේ සවි කිරීමක් අවශ්ය වේ. තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, ලෝහය ලබා දී ඇති උපස්ථරයක් මත තැන්පත් කර ඇත, නමුත්, නීතියක් ලෙස, ත්රිමාණ පැකේජයක සිරස් පැත්තේ බිත්තිවල ආලේපන ඝණකම සාමාන්යයෙන් ඉහළ මතුපිට ස්ථරයේ ඝනකමට සාපේක්ෂව 60% දක්වා වේ.
අවසාන වශයෙන්, sputtering රේඛීය තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියක් වන නිසා, ලෝහ අංශු තෝරා බේරා ගත නොහැක, නැතහොත් උඩුකුරු ව්‍යුහයන් සහ ස්ථලක යටතේ තැන්පත් කළ යුතුය, එමඟින් කුටීර බිත්ති ඇතුළත සමුච්චය වීමට අමතරව සැලකිය යුතු ද්‍රව්‍යමය අලාභයක් සිදුවිය හැකිය; මේ අනුව, එය බොහෝ නඩත්තු අවශ්ය වේ. ලබා දී ඇති උපස්ථරයක ඇතැම් ප්‍රදේශ නිරාවරණය වීමට හෝ EMI ආවරණයක් අවශ්‍ය නොවන්නේ නම්, උපස්ථරය ද පූර්ව වෙස්මුහුණු කළ යුතුය.
විද්යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් (EMI) වලින් ඉලෙක්ට්රොනික පද්ධති ආරක්ෂා කිරීම උණුසුම් මාතෘකාවක් බවට පත්ව ඇත. 5G ප්‍රමිතීන්හි තාක්‍ෂණික දියුණුව, ජංගම ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා රැහැන් රහිත ආරෝපණය, චැසියට ඇන්ටෙනා ඒකාබද්ධ කිරීම සහ පැකේජයේ පද්ධතිය (SiP) හඳුන්වාදීම වඩා හොඳ EMI ආවරණයක් සහ සංරචක පැකේජවල සහ විශාල මොඩියුලර් යෙදුම්වල හුදකලා වීමේ අවශ්‍යතාවයට හේතු වේ. විධිමත් පලිහක් සඳහා, පැකේජයේ පිටත පෘෂ්ඨයන් සඳහා EMI ආවරණ ද්‍රව්‍ය ප්‍රධාන වශයෙන් තැන්පත් කරනු ලබන්නේ අභ්‍යන්තර ඇසුරුම් යෙදුම් සඳහා පෙර ඇසුරුම් තාක්ෂණය භාවිතයෙන් භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) ක්‍රියාවලීන් භාවිතා කරමිනි. කෙසේ වෙතත්, ඉසින තාක්‍ෂණයේ පරිමාණය සහ පිරිවැය ගැටළු මෙන්ම පරිභෝජන ද්‍රව්‍යවල දියුණුව, EMI ආවරණ සඳහා විකල්ප ඉසින ක්‍රම සලකා බැලීමට හේතු වේ.
තීරු සහ විශාල SiP පැකේජවල තනි සංරචකවල බාහිර මතුපිටට EMI ආවරණ ද්‍රව්‍ය යෙදීම සඳහා ඉසින ආලේපන ක්‍රියාවලීන් සංවර්ධනය කිරීම කතුවරුන් විසින් සාකච්ඡා කරනු ඇත. කර්මාන්තය සඳහා අලුතින් සංවර්ධනය කරන ලද සහ වැඩිදියුණු කරන ලද ද්‍රව්‍ය සහ උපකරණ භාවිතා කරමින්, මයික්‍රෝන 10 ට අඩු පැකේජ සඳහා ඒකාකාර ආවරණයක් සහ පැකේජ කොන් සහ පැකේජ පැති බැම්ම වටා ඒකාකාර ආවරණයක් සපයන ක්‍රියාවලියක් පෙන්නුම් කර ඇත. පැති බිත්ති ඝණකම අනුපාතය 1: 1. වැඩිදුර පර්යේෂණවලින් පෙන්නුම් කර ඇත්තේ ඉසින අනුපාතය වැඩි කිරීමෙන් සහ පැකේජයේ නිශ්චිත ප්‍රදේශවලට තෝරාගෙන ආලේපන යෙදීමෙන් සංරචක පැකේජ සඳහා EMI ආවරණ යෙදීමේ නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකි බවයි. මීට අමතරව, උපකරණවල අඩු ප්රාග්ධන පිරිවැය සහ ඉසින උපකරණවලට සාපේක්ෂව උපකරණ ඉසීම සඳහා කෙටි සැකසුම් කාලය නිෂ්පාදන ධාරිතාව වැඩි කිරීමේ හැකියාව වැඩි දියුණු කරයි.
ජංගම ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ ඇසුරුම් කිරීමේදී, SiP මොඩියුලවල සමහර නිෂ්පාදකයින් විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වලින් ආරක්ෂා වීම සඳහා SiP තුළ ඇති සංරචක එකිනෙකින් සහ පිටතින් හුදකලා කිරීමේ ගැටලුවට මුහුණ දෙයි. අභ්‍යන්තර සංරචක වටා කට්ට කපා ඇති අතර, නඩුවේ ඇතුළත කුඩා ෆැරඩේ කූඩුවක් සෑදීම සඳහා කට්ටවලට සන්නායක පේස්ට් යොදනු ලැබේ. අගල් නිර්මාණය පටු වීම නිසා, අගල් පුරවන ද්රව්ය තැබීමේ පරිමාව හා නිරවද්යතාව පාලනය කිරීම අවශ්ය වේ. නවතම උසස් පිපිරුම් නිෂ්පාදන පරිමාව පාලනය කිරීම සහ පටු වායු ප්රවාහ පළල නිවැරදි අගල් පිරවීම සහතික කරයි. අවසාන පියවරේදී, මෙම පේස්ට් පිරවූ අගල්වල මුදුන් බාහිර EMI ආවරණ ආලේපනයක් යෙදීමෙන් එකට අලවා ඇත. ඉසින ආලේපනය මගින් ඉසින උපකරණ භාවිතය හා සම්බන්ධ ගැටළු විසඳන අතර වැඩිදියුණු කරන ලද EMI ද්‍රව්‍ය සහ තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවලින් ප්‍රයෝජන ගන්නා අතර කාර්යක්ෂම අභ්‍යන්තර ඇසුරුම් ක්‍රම භාවිතා කරමින් SiP පැකේජ නිෂ්පාදනය කිරීමට ඉඩ සලසයි.
මෑත වසරවලදී, EMI ආවරණ ප්‍රධාන අවධානයට ලක්ව ඇත. 5G රැහැන් රහිත තාක්‍ෂණය ක්‍රමානුකූලව ප්‍රධාන ධාරාවේ භාවිතා කිරීම සහ 5G අන්තර්ජාලයේ දේවල් (IoT) සහ මෙහෙවර-විවේචනාත්මක සන්නිවේදනයන් වෙත ගෙන එන අනාගත අවස්ථා සමඟ, විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වලින් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ එකලස්කිරීම් ඵලදායී ලෙස ආරක්ෂා කිරීමේ අවශ්‍යතාවය වැඩි වී ඇත. අත්යවශ්ය. එළඹෙන 5G රැහැන් රහිත ප්‍රමිතිය සමඟින්, 600 MHz සිට 6 GHz දක්වා සහ මිලිමීටර තරංග කලාපවල සංඥා සංඛ්‍යාත තාක්ෂණය අනුගමනය කරන විට වඩාත් පොදු සහ බලවත් වනු ඇත. සමහර යෝජිත භාවිත අවස්ථා සහ ක්‍රියාත්මක කිරීම්වලට කාර්යාල ගොඩනැගිලි සඳහා ජනෙල් කවුළු හෝ කෙටි දුරක් සන්නිවේදනය පවත්වා ගැනීමට උපකාර වන පොදු ප්‍රවාහනය ඇතුළත් වේ.
5G සංඛ්‍යාතවලට බිත්ති සහ අනෙකුත් දෘඩ වස්තූන් විනිවිද යාමේ අපහසුතා ඇති නිසා, අනෙකුත් යෝජිත ක්‍රියාත්මක කිරීම්වලට ප්‍රමාණවත් ආවරණයක් සැපයීම සඳහා නිවෙස් සහ කාර්යාල ගොඩනැගිලිවල රිපීටර් ඇතුළත් වේ. මෙම සියලු ක්‍රියාවන් 5G සංඛ්‍යාත කලාපවල සංඥා වල ව්‍යාප්තිය වැඩි කිරීමටත්, මෙම සංඛ්‍යාත කලාපවල විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම්වලට නිරාවරණය වීමේ වැඩි අවදානමක් සහ ඒවායේ ප්‍රතිමූර්තියට හේතු වනු ඇත.
වාසනාවකට මෙන්, බාහිර සංරචක සහ System-in-Package (SiP) උපාංග සඳහා තුනී, සන්නායක ලෝහ ආලේපනයක් යෙදීමෙන් EMI ආරක්ෂා කළ හැක (රූපය 1). අතීතයේදී, EMI ආවරණ යොදනු ලැබුවේ සංරචක කණ්ඩායම් වටා මුද්දර සහිත ලෝහ කෑන් තැබීමෙන් හෝ ඇතැම් සංරචක සඳහා ආවරණ පටියක් යෙදීමෙනි. කෙසේ වෙතත්, පැකේජ සහ අවසාන උපාංග කුඩා කිරීම අඛණ්ඩව සිදු වන බැවින්, ජංගම සහ පැළඳිය හැකි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල වැඩි වැඩියෙන් දක්නට ලැබෙන ප්‍රමාණයේ සීමාවන් සහ විවිධ විකලාංග නොවන පැකේජ සංකල්ප හැසිරවීමේ නම්‍යශීලීභාවය හේතුවෙන් මෙම ආවරණ ප්‍රවේශය පිළිගත නොහැකි වේ.
එලෙසම, සමහර ප්‍රමුඛ පෙළේ පැකේජ සැලසුම්, පැකේජයේ සම්පූර්ණ බාහිර කොටස සම්පූර්ණ පැකේජයකින් ආවරණය කරනවාට වඩා, EMI ආවරණ සඳහා පැකේජයේ ඇතැම් ප්‍රදේශ පමණක් වරණාත්මකව ආවරණය කිරීම කරා ගමන් කරයි. බාහිර EMI ආවරණ වලට අමතරව, නව SiP උපාංග සඳහා එකම පැකේජයේ ඇති විවිධ සංරචක නිසි ලෙස හුදකලා කිරීම සඳහා පැකේජය තුළට සෘජුවම ගොඩනගා ඇති අතිරේක බිල්ට් පලිහක් අවශ්‍ය වේ.
වාත්තු කරන ලද සංරචක පැකේජ හෝ අච්චු කරන ලද SiP උපාංග මත EMI ආවරණ නිර්මාණය කිරීමේ ප්‍රධාන ක්‍රමය වන්නේ මතුපිටට ලෝහ ස්ථර කිහිපයක් ඉසීමයි. ස්පුටර් කිරීම මගින් පිරිසිදු ලෝහ හෝ ලෝහ මිශ්‍ර ලෝහවල ඉතා තුනී ඒකාකාර ආලේපන 1 සිට 7 µm ඝණකම සහිත ඇසුරුම් මතුපිට තැන්පත් කළ හැක. ස්පුටරින් ක්‍රියාවලියට ඇන්ග්ස්ට්‍රොම් මට්ටමේ ලෝහ තැන්පත් කිරීමේ හැකියාව ඇති නිසා, එහි ආෙල්පනවල විද්‍යුත් ගුණ සාමාන්‍ය ආවරණ යෙදුම් සඳහා මෙතෙක් ඵලදායී වී ඇත.
කෙසේ වෙතත්, ආරක්ෂාව සඳහා අවශ්යතාවය වර්ධනය වන විට, නිෂ්පාදකයින් සහ සංවර්ධකයින් සඳහා පරිමාණය කළ හැකි ක්රමයක් ලෙස භාවිතා කිරීම වළක්වන සැලකිය යුතු ආවේණික අවාසි ඇත. ඉසින උපකරණවල ආරම්භක ප්‍රාග්ධන පිරිවැය ඩොලර් මිලියන ගණනක පරාසයක ඉතා ඉහළ ය. බහු කුටීර ක්රියාවලිය හේතුවෙන්, ඉසින උපකරණ රේඛාවට විශාල ප්රදේශයක් අවශ්ය වන අතර සම්පූර්ණ ඒකාබද්ධ මාරු පද්ධතියක් සහිත අතිරේක නිශ්චල දේපල සඳහා අවශ්යතාවය තවදුරටත් වැඩි කරයි. ප්ලාස්මා උද්දීපනය මගින් ද්‍රව්‍ය ස්පූටර් ඉලක්කයේ සිට උපස්ථරය දක්වා ඉසින බැවින් සාමාන්‍ය ස්පුටර් කුටි තත්ව 400°C පරාසයට ළඟා විය හැක; එබැවින්, අත්විඳින ලද උෂ්ණත්වය අඩු කිරීම සඳහා උපස්ථරය සිසිල් කිරීම සඳහා "සීතල තහඩු" සවිකිරීමේ සවි කිරීමක් අවශ්ය වේ. තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, ලෝහය ලබා දී ඇති උපස්ථරයක් මත තැන්පත් කර ඇත, නමුත්, නීතියක් ලෙස, ත්රිමාණ පැකේජයක සිරස් පැත්තේ බිත්තිවල ආලේපන ඝණකම සාමාන්යයෙන් ඉහළ මතුපිට ස්ථරයේ ඝනකමට සාපේක්ෂව 60% දක්වා වේ.
අවසාන වශයෙන්, sputtering යනු පේළියේ තැන්පත් වීමේ ක්‍රියාවලියක් වන බැවින්, ලෝහ අංශු තෝරා බේරා ගත නොහැක, නැතහොත් උඩුකුරු ව්‍යුහයන් සහ ස්ථලක යටතේ තැන්පත් කළ යුතුය, එමඟින් කුටියේ බිත්ති තුළ සමුච්චය වීමට අමතරව සැලකිය යුතු ද්‍රව්‍යමය අලාභයක් සිදුවිය හැකිය; මේ අනුව, එය බොහෝ නඩත්තු අවශ්ය වේ. ලබා දී ඇති උපස්ථරයක ඇතැම් ප්‍රදේශ නිරාවරණය වීමට හෝ EMI ආවරණයක් අවශ්‍ය නොවන්නේ නම්, උපස්ථරය ද පූර්ව වෙස්මුහුණු කළ යුතුය.
ධවල පත්‍රිකාව: කුඩා සිට විශාල එකතු කිරීම් නිෂ්පාදනය දක්වා ගමන් කරන විට, නිෂ්පාදන ඵලදායිතාව උපරිම කිරීම සඳහා විවිධ නිෂ්පාදනවල බහු කාණ්ඩවල ප්‍රතිදානය ප්‍රශස්ත කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. සමස්ත රේඛා භාවිතය... ධවල පත්‍රිකාව බලන්න