අප දන්නා පරිදි, සංශුද්ධතාවය ඉලක්කයේ ප්රධාන කාර්ය සාධන දර්ශක වලින් එකකි. සැබෑ භාවිතයේදී, ඉලක්කයේ සංශුද්ධතාවයේ අවශ්යතා ද වෙනස් වේ. සාමාන්ය කාර්මික පිරිසිදු ටයිටේනියම් සමඟ සසඳන විට, ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ටයිටේනියම් මිල අධික වන අතර පටු යෙදුම් පරාසයක් ඇත. එය ප්රධාන වශයෙන් සමහර විශේෂ කර්මාන්තවල භාවිතය සපුරාලීම සඳහා භාවිතා වේ. එසේනම් අධි සංශුද්ධතාවයේ ටයිටේනියම් ඉලක්කවල ප්රධාන යෙදුම් මොනවාද? දැන් අපි අනුගමනය කරමු විශේෂඥආර්එස්එම්.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් ඉලක්ක භාවිතයට ප්රධාන වශයෙන් පහත කරුණු ඇතුළත් වේ:
1. ජෛව ද්රව්ය
ටයිටේනියම් යනු චුම්බක නොවන ලෝහයක් වන අතර එය ප්රබල චුම්බක ක්ෂේත්රයකදී චුම්භක නොවන අතර මිනිස් සිරුර සමඟ හොඳ ගැළපීමක් ඇති අතර විෂ නොවන අතුරු ආබාධ ඇති අතර මිනිස් තැන්පත් කළ උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීමට භාවිතා කළ හැකිය. සාමාන්යයෙන්, වෛද්ය ටයිටේනියම් ද්රව්ය ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ටයිටේනියම් මට්ටමට නොපැමිණෙන නමුත් ටයිටේනියම් හි ඇති අපද්රව්ය විසුරුවා හැරීම සලකා බැලීමේදී, බද්ධ කිරීම සඳහා ටයිටේනියම් සංශුද්ධතාවය හැකි තරම් ඉහළ විය යුතුය. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් වයර් ජීව විද්යාත්මක බන්ධන ද්රව්ය ලෙස භාවිතා කළ හැකි බව සාහිත්යයේ සඳහන් වේ. මීට අමතරව, කාවැද්දූ කැතීටර් සහිත ටයිටේනියම් එන්නත් ඉඳිකටුවක් ද ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ටයිටේනියම් මට්ටමට පැමිණ ඇත.
2. සැරසිලි ද්රව්ය
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් විශිෂ්ට වායුගෝලීය විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර ටයිටේනියම් වල මුල් වර්ණය සහතික කරමින් වායුගෝලයේ දිගු කාලීන භාවිතයෙන් පසු වර්ණය වෙනස් නොවේ. එබැවින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් ගොඩනැගිලි සැරසිලි ද්රව්ය ලෙසද භාවිතා කළ හැකිය. මීට අමතරව, මෑත වසරවලදී, වළලු, ඔරලෝසු සහ ඇස් කණ්ණාඩි රාමු වැනි සමහර ඉහළ මට්ටමේ සැරසිලි සහ පැළඳිය හැකි සමහරක් ටයිටේනියම් වලින් සාදා ඇති අතර, එහි විඛාදන ප්රතිරෝධය, දුර්වර්ණ නොවීම, දිගු කාලීන හොඳ ඔප දැමීම සහ සංවේදී නොවන මිනිස් සම. සමහර සැරසිලි සඳහා භාවිතා කරන ටයිටේනියම් වල සංශුද්ධතාවය 5N මට්ටමට ළඟා වී ඇත.
3. ආශ්වාස ද්රව්ය
ටයිටේනියම්, ඉතා ක්රියාකාරී රසායනික ගුණ සහිත ලෝහයක් ලෙස, ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී බොහෝ මූලද්රව්ය හා සංයෝග සමඟ ප්රතික්රියා කළ හැක. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටයිටේනියම් සක්රීය වායු සඳහා ප්රබල අවශෝෂණ ඇත (නිදසුනක් ලෙස,,,CO,, ජල වාෂ්ප 650 ට වැඩි℃), සහ පොම්ප බිත්තිය මත වාෂ්ප වී ඇති Ti චිත්රපටය ඉහළ අවශෝෂණ ධාරිතාවක් සහිත මතුපිටක් සෑදිය හැක. මෙම ගුණාංගය Ti පුළුල් ලෙස අධි-ඉහළ රික්තක පොම්ප පද්ධතිවල ලබා ගන්නෙකු ලෙස භාවිතා කරයි. sublimation පොම්ප, sputtering ion පොම්ප ආදියෙහි භාවිතා කරන්නේ නම්, sputtering ion පොම්ප වල අවසාන ක්රියාකාරී පීඩනය PA තරම් අඩු විය හැක.
4. ඉලෙක්ට්රොනික තොරතුරු ද්රව්ය
මෑත වසරවලදී, අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය, තොරතුරු තාක්ෂණය සහ අනෙකුත් අධි තාක්ෂණික ක්ෂේත්රවල ශීඝ්ර දියුණුවත් සමඟ, ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ටයිටේනියම් ඉලක්ක, ඒකාබද්ධ පරිපථ, DRAM සහ පැතලි පැනල් සංදර්ශක සඳහා වැඩි වැඩියෙන් භාවිතා වන අතර ටයිටේනියම් හි සංශුද්ධතාවය අවශ්ය වේ. වැඩි වැඩියෙන්. අර්ධ සන්නායක VLSI කර්මාන්තයේ දී, ටයිටේනියම් සිලිකන් සංයෝගය, ටයිටේනියම් නයිට්රයිඩ් සංයෝගය, ටංස්ටන් ටයිටේනියම් සංයෝගය යනාදිය පාලන ඉලෙක්ට්රෝඩ සඳහා විසරණ බාධක සහ රැහැන් ද්රව්ය ලෙස භාවිතා කරයි. මෙම ද්රව්ය sputtering ක්රමය මගින් සාදා ඇති අතර, sputtering ක්රමය මගින් භාවිතා කරන ටයිටේනියම් ඉලක්කයට ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් අවශ්ය වේ, විශේෂයෙන්ම ක්ෂාර ලෝහ මූලද්රව්යවල සහ විකිරණශීලී මූලද්රව්යවල අන්තර්ගතය ඉතා අඩුය.
ඉහත සඳහන් යෙදුම් ක්ෂේත්රවලට අමතරව, විශේෂ මිශ්ර ලෝහ සහ ක්රියාකාරී ද්රව්ය සඳහා අධි-පිරිසිදු ටයිටේනියම් ද භාවිතා වේ.
පසු කාලය: ජූලි-11-2022