اسپٽر ٽارگيٽ مواد ڇا آهي

Magnetron sputtering ڪوٽنگ هڪ نئون جسماني وانپ ڪوٽنگ جو طريقو آهي، اڳئين بخارات جي ڪوٽنگ جي طريقي جي مقابلي ۾، ڪيترن ئي حصن ۾ ان جا فائدا ڪافي قابل ذڪر آهن. هڪ بالغ ٽيڪنالاجي جي طور تي، magnetron sputtering ڪيترن ئي شعبن ۾ لاڳو ڪيو ويو آهي.

　　Magnetron ڦاٽڻ جو اصول:

هڪ orthogonal مقناطيسي ميدان ۽ برقي ميدان ڦاٽل ٽارگيٽ قطب (cathode) ۽ anode جي وچ ۾ شامل ڪيو ويو آهي، ۽ گهربل انٽ گيس (عام طور تي آر گيس) اعلي ويڪيوم چيمبر ۾ ڀريو ويندو آهي. مستقل مقناطيس ٽارگيٽ مواد جي مٿاڇري تي 250-350 گيس مقناطيسي ميدان ٺاهي ٿو، ۽ آرٿوگونل برقي مقناطيسي فيلڊ اعلي وولٽيج برقي فيلڊ سان ٺهيل آهي. برقي فيلڊ جي اثر هيٺ، آر گيس آئنائيزيشن مثبت آئنز ۽ اليڪٽرانن ۾، ٽارگيٽ ۽ ڪجهه منفي دٻاء آهي، مقناطيسي فيلڊ جي اثر ۽ ڪم ڪندڙ گيس جي آئنائيزيشن جي امڪانن جي اثر سان قطب کان ٽارگيٽ کان، ويجهو هڪ اعلي کثافت پلازما ٺاهي ٿو. ڪيٿوڊ، لورنٽز فورس جي عمل هيٺ آر آئن، ٽارگيٽ جي مٿاڇري تي اڏامڻ لاءِ تيز رفتاري سان، ٽارگيٽ جي مٿاڇري تي تيز رفتاري سان بمباري ڪرڻ، نشان تي ڦاٿل ايٽم موميٽم ڪنورشن جي اصول تي عمل ڪريو ۽ تيز رفتاري توانائي سان ٽارگيٽ جي مٿاڇري کان پري سبسٽرٽ جمع ڪرڻ واري فلم ڏانهن پرواز ڪريو.

Magnetron sputtering عام طور تي ٻن قسمن ۾ ورهايل آهي: DC sputtering ۽ RF sputtering. ڊي سي اسپٽرنگ سامان جو اصول سادو آهي، ۽ شرح تيز آهي جڏهن ڌاتو کي ڦوڪيندي. آر ايف اسپٽرنگ جو استعمال وڌيڪ وسيع آهي، ان کان علاوه اسپٽرنگ conductive مواد کان علاوه، پر غير متحرڪ مواد کي ڦٽو ڪرڻ، پر آڪسائيڊ، نائٽرائڊس ۽ ڪاربائڊس ۽ ٻين مرڪب مواد جي رد عمل واري اسپٽرنگ تيار ڪرڻ. جيڪڏهن آر ايف جي تعدد وڌي ٿي، اهو مائڪرو ويڪرو پلازما اسپٽرنگ بڻجي ويندو آهي. في الحال، اليڪٽران سائڪلوٽرون گونج (ECR) قسم جو مائڪرو ويڪرو پلازما اسپٽرنگ عام طور تي استعمال ٿيندو آهي.

　　Magnetron sputtering ڪوٽنگ ٽارگيٽ مواد:

ڌاتو sputtering ٽارگيٽ مواد, ڪوٽنگ مصر sputtering ڪوٽنگ مواد, سيرامڪ sputtering ڪوٽنگ مواد, boride ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, carbide ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, fluoride ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, nitride ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, oxide ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, oxide ceramic sputtering ٽارگيٽ مواد, silicide سيرامڪ اسپٽرنگ ٽارگيٽ مواد، سلفائيڊ سيرامڪ اسپٽرنگ ٽارگيٽ مواد، ٽيلورائڊ سيرامڪ اسپٽرنگ ٽارگيٽ، ٻيون سيرامڪ ٽارگيٽ، ڪروميم-ڊوپيڊ سلڪون آڪسائيڊ سيرامڪ ٽارگيٽ (CR-SiO)، انڊيم فاسفائيڊ ٽارگيٽ (InP)، ليڊ آرسنائيڊ ٽارگيٽ (PbAs)، انڊيم آرسنائيڊ ٽارگيٽ ( InAs).