Polysilicon هڪ اهم اسپٽرنگ ٽارگيٽ مواد آهي. SiO2 ۽ ٻيون پتلي فلمون تيار ڪرڻ لاءِ magnetron sputtering جو طريقو استعمال ڪندي ميٽرڪس مواد کي بهتر آپٽيڪل، ڊائيلڪٽرڪ ۽ سنکنرن جي مزاحمتي صلاحيت رکي ٿي، جيڪا وڏي پيماني تي ٽچ اسڪرين، آپٽيڪل ۽ ٻين صنعتن ۾ استعمال ٿئي ٿي.
ڊگھي ڪرسٽل کي ڪاسٽ ڪرڻ جو عمل اهو آهي ته مائع سلکان جي سڌي سنئين مضبوطيءَ کي هيٺ کان مٿي تائين بتدريج محسوس ڪيو وڃي ته جيئن انگٽ فرنس جي گرم ميدان ۾ هيٽر جي گرمي پد کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪيو وڃي ۽ حرارتي موصليت واري مواد جي گرمي جي ضايع ٿيڻ، ۽ مضبوط ڪرڻ واري ڊگھي ڪرسٽل جي رفتار 0.8 ~ 1.2 سينٽي / ايڇ آهي. ساڳي ئي وقت، هدايتي پختگي جي عمل ۾، سلکان مواد ۾ ڌاتو عناصر جي علحدگيء واري اثر کي محسوس ڪري سگهجي ٿو، اڪثر ڌاتو عناصر کي صاف ڪري سگهجي ٿو، ۽ هڪ يونيفارم پولي کرسٽل لائن سلکان اناج جي جوڙجڪ ٺاهي سگهجي ٿي.
سلڪون پگھلڻ ۾ قبول ڪندڙ نجاست جي ڪنسنٽريشن کي تبديل ڪرڻ لاءِ ، پولي سلڪون کي کاسٽنگ پڻ پيداوار جي عمل ۾ ارادي طور تي ڊاپ ڪرڻ جي ضرورت آهي. صنعت ۾ p-type cast polysilicon جو مکيه dopant سلکان بوران ماسٽر مصر آهي، جنهن ۾ بورون جو مواد تقريبا 0.025٪ آهي. ڊاپنگ جي مقدار سلکان ويفر جي ٽارگيٽ مزاحمت جي ذريعي طئي ڪئي وئي آهي. بهترين مزاحمتي صلاحيت 0.02 ~ 0.05 Ω • سينٽي آهي، ۽ لاڳاپيل بورون ڪنسنٽريشن اٽڪل 2 × 1014cm-3 آهي. جڏهن ته، سلڪون ۾ بورون جي جداگي جي کوٽائي 0.8 آهي، جيڪو سڌو سنئون مضبوط ڪرڻ واري عمل ۾ هڪ خاص علحدگي اثر ڏيکاريندو، اهو آهي، بورون عنصر کي گريجوئيٽ ۾ ورهايو ويو آهي انگٽ جي عمودي طرف، ۽ مزاحمتي صلاحيت آهستي آهستي هيٺان کان مٿي تائين گهٽجي ويندي آهي.
پوسٽ جو وقت: جولاء-26-2022