جرنل هيرن ۽ لاڳاپيل مواد ۾ هڪ نئون مطالعو FeCoB etchant سان پولي ڪرسٽل لائن هيرن جي ايچنگ تي ڌيان ڏئي ٿو نمونن ٺاهڻ لاءِ. انهن سڌريل ٽيڪنيڪي جدت جي نتيجي ۾، هيرن جي سطحن کي بغير نقصان ۽ گهٽ نقصن سان حاصل ڪري سگهجي ٿو.
ريسرچ: هيرن جي مقامي چونڊيل ايچنگ مضبوط حالت ۾ FeCoB استعمال ڪندي فوٽووليٿوگرافڪ نموني سان. تصويري ڪريڊٽ: Bjorn Wilezic/Shutterstock.com
سولڊ اسٽيٽ ڊفيوشن جي عمل جي ذريعي، FeCoB نانوڪريسٽل فلمون (Fe:Co:B=60:20:20، ائٽمي تناسب) مائڪرو اسٽريچر ۾ هيرن جي لٽيس ھدف ۽ خاتمو حاصل ڪري سگھن ٿيون.
هيرن ۾ منفرد حياتياتي ۽ بصري خاصيتون آهن، انهي سان گڏ اعلي لوچ ۽ طاقت. ان جي انتهائي پائيداري الٽرا پرسيجن مشيننگ (هيرن جي رخ واري ٽيڪنالاجي) ۾ ترقي جو هڪ اهم ذريعو آهي ۽ سوين GPa جي حد ۾ انتهائي دٻاءُ جو رستو.
ڪيميائي عدم استحڪام، بصري استحڪام ۽ حياتياتي سرگرمي سسٽم جي ڊزائن جي امڪانن کي وڌائي ٿو جيڪي انهن فنڪشنل خاصيتن کي استعمال ڪن ٿا. هيرن ميڪٽرينڪس، آپٽڪس، سينسر ۽ ڊيٽا مئنيجمينٽ جي شعبن ۾ پنهنجو نالو ٺاهيو آهي.
انهن جي ايپليڪيشن کي فعال ڪرڻ لاء، هيرن جو تعلق ۽ انهن جي نموني واضح مسئلا پيدا ڪري ٿي. Reactive ion etching (RIE)، inductively coupled Plasma (ICP)، ۽ اليڪٽران بيم انڊيسڊ ايچنگ، موجوده پروسيس سسٽم جا مثال آهن جيڪي ايچنگ ٽيڪنڪ استعمال ڪن ٿا (EBIE).
هيرن جي جوڙجڪ پڻ ليزر ۽ مرڪوز آئن بيم (FIB) پروسيسنگ ٽيڪنالاجي استعمال ڪندي ٺاهيا ويا آهن. ھن ٺاھڻ جي ٽيڪنڪ جو مقصد آھي ڊيلامينيشن کي تيز ڪرڻ ۽ گڏوگڏ پيداوار جي جوڙجڪ ۾ وڏي ايراضين تي اسڪيلنگ جي اجازت ڏيڻ. اهي عمل مائع ايچنٽس (پلازما، گيس، ۽ مائع حل) استعمال ڪندا آهن، جيڪي جاميٽري پيچيدگي کي محدود ڪري ٿي.
هي گرائونڊ بريڪنگ ڪم ڪيميائي وانپ جي پيداوار ذريعي مواد جي خاتمي جو مطالعو ڪري ٿو ۽ سطح تي FeCoB (Fe:Co:B، 60:20:20 ايٽمي سيڪڙو) سان پولي ڪرسٽل هيرا ٺاهي ٿو. هيرن ۾ ميٽر-اسڪيل ڍانچي جي صحيح نقاشي لاءِ TM ماڊلز جي پيدائش تي بنيادي ڌيان ڏنو ويو آهي. هيٺيون هيرا 30 کان 90 منٽن تائين 700 کان 900 ° سي تي گرمي جي علاج سان nanocrystalline FeCoB سان ڳنڍيل آهي.
هيرن جي نموني جي هڪ برقرار پرت هڪ بنيادي پولي ڪرسٽل لائن مائڪرو اسٽريچر کي ظاهر ڪري ٿي. هر هڪ خاص ذري جي اندر 3.84 ± 0.47 nm، ۽ مجموعي سطح جي خرابي 9.6 ± 1.2 nm هئي. لڳل FeCoB ڌاتوءَ جي پرت (هڪ هيرن جي اناج جي اندر) 3.39 ± 0.26 nm آهي، ۽ پرت جي اوچائي 100 ± 10 nm آهي.
30 منٽ لاءِ 800 ° C تي اينيل ڪرڻ کان پوءِ، ڌاتو جي مٿاڇري جي ٿلهي 600 ± 100 nm تائين وڌي وئي، ۽ مٿاڇري جي خرابي (Ra) وڌي 224 ± 22 nm ٿي وئي. annealing دوران، ڪاربان جوهر FeCoB پرت ۾ پکڙيل آهي، جنهن جي نتيجي ۾ سائيز ۾ اضافو ٿيو.
FeCoB پرت 100 nm ٿلهي سان ٽي نمونا ترتيب سان 700، 800، ۽ 900 °C جي گرمي پد تي گرم ڪيا ويا. جڏهن درجه حرارت جي حد 700 ° C کان گهٽ آهي، هيرن ۽ FeCoB جي وچ ۾ ڪو خاص تعلق نه آهي، ۽ هائيڊروٿرمل علاج کان پوء تمام گهٽ مواد هٽايو ويندو آهي. مواد کي هٽائڻ کي 800 ° C کان مٿي گرمي پد تائين وڌايو ويندو آهي.
جڏهن گرمي پد 900 ° C تي پهچي ويو، ايچنگ جي شرح 800 ° C جي درجه حرارت جي مقابلي ۾ ٻه ڀيرا وڌي وئي. جڏهن ته، ايچ ٿيل علائقي جو پروفائيل، امپلانٽ ٿيل ايچ جي ترتيبن (FeCoB) کان بلڪل مختلف آهي.
هڪ نمونو ٺاهڻ لاءِ سولڊ اسٽيٽ ايچنٽ جو اسڪيميٽ ڏيکاريندڙ نقشو: ڦوٽو گرافي نموني سان FeCoB استعمال ڪندي هيرن جي جڳهائي چونڊيل سولڊ اسٽيٽ ايچنگ. تصويري ڪريڊٽ: وان زي ۽ شنڪر ايم آر وغيره، هيرا ۽ لاڳاپيل مواد.
FeCoB نموني 100 nm ٿلهي هيرن تي 800 ° C تي 30، 60، ۽ 90 منٽن لاء، ترتيب سان پروسيس ڪيا ويا.
800 ° C تي جوابي وقت جي ڪم جي طور تي نقش ٿيل علائقي جي خرابي (را) مقرر ڪئي وئي هئي. نموني جي سختي 30، 60 ۽ 90 منٽن لاء اينيل ڪرڻ کان پوء 186 ± 28 nm، 203 ± 26 nm ۽ 212 ± 30 nm هئي. 500، 800، يا 100 nm جي ايچ جي کوٽائي سان، نڪتل ايراضيءَ جي کوٽائيءَ جو تناسب (RD) 0.372، 0.254، ۽ 0.212 آهي، ترتيب سان.
ايچنگ جي کوٽائي وڌائڻ سان ايچ ٿيل علائقي جي ٿڌائي خاص طور تي نه وڌي ٿي. اهو معلوم ڪيو ويو آهي ته هيرن ۽ ايڇ ايم ايچنٽ جي وچ ۾ رد عمل لاء گهربل درجه حرارت 700 ° C کان وڌيڪ آهي.
مطالعي جي نتيجن مان ظاهر ٿئي ٿو ته FeCoB مؤثر طريقي سان هيرن کي هٽائي سگهي ٿو تمام تيز رفتار سان يا ته Fe يا Co اڪيلو جي ڀيٽ ۾.
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-31-2023