Добро пожаловать на наши сайты!

Какова роль мишени для распыления при вакуумном нанесении покрытия?

Вакуумное напыление при выборе целевых материалов для распыления в настоящее время является проблемой для людей, поскольку нанесение покрытия напылением, особенно развитие навыков нанесения покрытий магнетронным распылением, можно сказать, что любая информация может быть направлена ​​на подготовку материала для тонких пленок. ионной бомбардировкой, поскольку распыление целевого материала в процессе нанесения покрытия на тип подложки оказывает важное влияние на качество напыляемой пленки. Поэтому требования к целевому материалу более строгие. Здесь мы узнаем о роли мишени для распыления в вакуумном нанесении покрытия вместе с редактором журнала Beijing Relaxation.

https://www.rsmtarget.com/

一、Принцип выбора и классификация целевого материала

При выборе целевого материала, помимо выбора самой пленки, следует также учитывать следующие проблемы:

Проблема 1. В соответствии с требованиями к использованию и характеристикам мембраны, целевой материал должен соответствовать техническим требованиям по чистоте, содержанию магазина, однородности компонентов, точности обработки и так далее.

Задача 2. Целевой материал должен иметь хорошую механическую прочность и химическую стабильность после формирования пленки;

Проблема 3. Необходимо, чтобы пленочный материал легко образовывал составную пленку с реакционным газом в качестве пленки реактивного напыления;

Задача 4. Необходимо сделать мишень и матрицу прочными, в противном случае следует использовать пленочный материал с хорошей адгезией к матрице, сначала напылить слой нижней пленки, а затем подготовить необходимый слой пленки;

Вопрос 5. Исходя из требований к характеристикам пленки, чем меньше разница между коэффициентом теплового расширения мишени и матрицы, тем лучше, чтобы уменьшить влияние термического напряжения напыляемой пленки;

Подготовка нескольких часто используемых мишеней

(1) цель кр

Хром как материал для распыляемой пленки не только легко сочетается с основным материалом, обладает высокой адгезией, но и пленка из хрома и оксида CrQ3, ее механические свойства, кислотостойкость и термическая стабильность лучше.

Пекинская высокотехнологичная компания Ruichi High-tech Co., Ltd. в основном занимается: титановой мишенью, циркониевой мишенью, алюминиевой мишенью, никелевой мишенью, хромовой мишенью, вольфрамовой мишенью, молибденовой мишенью, медной мишенью, кремниевой мишенью, ниобиевой мишенью, танталовой мишенью, титаново-кремниевым сплавом. мишень, мишень из сплава титана и ниобия, мишень из сплава титана и вольфрама, мишень из сплава титана и циркония, мишень из никель-хромового сплава, мишень из кремнеземно-алюминиевого сплава, Мишень из никель-ванадиевого сплава, мишень из тройного сплава хрома-алюминия-кремния, мишень из тройного сплава Ti al si, широко используемая в отделке / твердых поверхностях и функциональных покрытиях, архитектурном стекле, плоском дисплее / оптических фотоэлектрических устройствах, оптических хранилищах, электронике, печати и другие профессии.


Время публикации: 02 июня 2022 г.