Процесс привязки щита:
1、 Что такое обязательная привязка? Это относится к использованию припоя для приваривания материала мишени к задней мишени. Существует три основных метода: обжим, пайка и проводящий клей. Целевое связующее обычно используется для пайки, а материалы для припоя обычно включают In, Sn и In Sn. Обычно при использовании мягких припоев мощность распыления должна быть менее 20 Вт/см2.
2、 Зачем связывать 1. Предотвратить неравномерную фрагментацию целевых материалов во время нагрева, таких как хрупкие мишени, такие как ITO, SiO2, керамика и спеченные мишени; 2. Сохраните * * * и предотвратите деформацию. Если материал мишени слишком дорогой, его можно сделать тоньше и привязать к задней мишени, чтобы предотвратить деформацию.
3. Выбор задней цели: 1. Компания Rich Special Materials Co., Ltd. обычно использует бескислородную медь с хорошей проводимостью, а теплопроводность бескислородной меди лучше, чем у красной меди; 2. Толщина умеренная, обычно рекомендуется иметь заднюю целевую толщину около 3 мм. Слишком толстый, поглощающий некоторую магнитную силу; Слишком тонкий, легко деформируется.
4. Процесс связывания 1. Перед связыванием предварительно обработайте поверхность целевого материала и заднюю часть мишени. 2. Поместите материал мишени и заднюю мишень на платформу для пайки и поднимите температуру до температуры связывания. 3. Металлизируйте материал мишени и заднюю мишень. 4. Соедините материал мишени и заднюю мишень. 5. Охлаждение и постобработка.
5、 Меры предосторожности при использовании связанных мишеней: 1. Температура распыления не должна быть слишком высокой. 2. Ток следует медленно увеличивать. 3. Температура циркулирующей охлаждающей воды должна быть ниже 35 градусов Цельсия. 4. Подходящая целевая плотность
6. Причиной отсоединения задней пластины является высокая температура распыления, а задняя мишень склонна к окислению и деформации. Материал мишени растрескается во время высокотемпературного распыления, в результате чего задняя мишень отсоединится; 2. Ток слишком велик, а теплопроводность слишком быстрая, что приводит к слишком высокой температуре и плавлению припоя, что приводит к неравномерности припоя и отслоению задней мишени; 3. Температура на выходе циркулирующей охлаждающей воды должна быть ниже 35 градусов Цельсия, а высокая температура циркулирующей воды может привести к плохому отводу тепла и отсоединению; 4. Плотность самого целевого материала: когда плотность целевого материала очень высока, его нелегко адсорбировать, нет зазоров, а задняя мишень легко отваливается.
Время публикации: 12 октября 2023 г.