Многие пользователи не рассматривают покупку мишеней с профессиональной точки зрения, так на что следует обратить внимание при покупке мишеней? Давайте попросим Сяобяня из Пекина Руичи указать на вопросы, требующие внимания при покупке целей.
Во-первых, для мишени чистота является одним из ее основных функциональных показателей, а чистота мишени оказывает большое влияние на функцию последующей пленки продукта. Каждый продукт также предъявляет разные требования к чистоте цели.
Во-вторых, содержание примесей отдельных элементов в мишени. После серии обработок мишени примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и пары воды в порах являются основными источниками загрязнения осажденных пленок. Из-за различного использования мишеней требования к разному содержанию примесей в мишенях для разных целей также различны. Например, к мишеням из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемым в полупроводниковой промышленности, теперь предъявляются особые требования по содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Плотность также является одним из важных показателей производительности мишени. В техническом процессе изготовления мишени, чтобы уменьшить поры в целевом твердом веществе и улучшить функцию напыленной пленки, мишень обычно должна иметь высокую плотность. Основная характеристическая плотность мишени оказывает большое влияние на скорость распыления, а также влияет на электрические и оптические функции пленки. Чем выше целевая плотность, тем лучше функция пленки.
Наконец, размер зерна и распределение зерен. Обычно целевой материал является поликристаллическим, а размер зерна может варьироваться от микрона до миллиметра. Для одной и той же мишени скорость распыления мелкозернистой мишени выше, чем у крупнозернистой мишени; Толщина пленок, нанесенных методом мишенного распыления с малой разницей размеров зерен (равномерной дисперсией), более однородна.
Время публикации: 10 июня 2022 г.