Добро пожаловать на наши сайты!

Rich Special Materials Co.,LTD расскажет, каковы требования к характеристикам целевого материала

Широкое использование мишенного материала в различных профессиях повышает спрос на мишенный материал. Следующее Мы будем кратко представить ты каковы основные функциональные требования цели, прыжкаинг чтобы помочь вам.

 https://www.rsmtarget.com/

Чистота. Чистота является одним из основных функциональных показателей мишени, поскольку чистота мишени оказывает большое влияние на функцию пленки. Но на практике чистота целевого материала не одинакова. Например, с быстрым ростом профессии микроэлектроники размер кремниевой пластины увеличился с 6 дюймов, 8 дюймов до 12 дюймов, а ширина проводки уменьшилась с 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм и даже 0,13 мкм. Как только 99,995% целевой чистоты может соответствовать технологическим требованиям 0,35UMIC. Для приготовления линии 0,18 мкм требуется чистота целевого материала 99,999% или даже 99,9999%.

Плотность: чтобы уменьшить пористость целевого твердого тела и улучшить функцию напыляемой пленки, мишень обычно должна иметь высокую плотность. Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические свойства пленок. Чем выше плотность мишени, тем лучше функция пленки. Кроме того, были увеличены плотность и прочность материала мишени, чтобы он лучше выдерживал термическое напряжение во время распыления. Плотность также является одним из важных функциональных показателей целевых веществ.

  Содержание примесей: примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и водяной пар в порах являются основными источниками загрязнения накопленных пленок. Различные целевые материалы для разных целей предъявляют разные требования к разному содержанию примесей. Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.


Время публикации: 6 июня 2022 г.