Широкое использование мишенного материала в различных профессиях повышает спрос на мишенный материал. Следующее Мы будем кратко представить ты каковы основные функциональные требования цели, прыжкаинг чтобы помочь вам.
Чистота. Чистота является одним из основных функциональных показателей мишени, поскольку чистота мишени оказывает большое влияние на функцию пленки. Но на практике чистота целевого материала не одинакова. Например, с быстрым ростом профессии микроэлектроники размер кремниевой пластины увеличился с 6 дюймов, 8 дюймов до 12 дюймов, а ширина проводки уменьшилась с 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм и даже 0,13 мкм. Как только 99,995% целевой чистоты может соответствовать технологическим требованиям 0,35UMIC. Для приготовления линии 0,18 мкм требуется чистота целевого материала 99,999% или даже 99,9999%.
Плотность: чтобы уменьшить пористость целевого твердого тела и улучшить функцию напыляемой пленки, мишень обычно должна иметь высокую плотность. Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические свойства пленок. Чем выше плотность мишени, тем лучше функция пленки. Кроме того, были увеличены плотность и прочность материала мишени, чтобы он лучше выдерживал термическое напряжение во время распыления. Плотность также является одним из важных функциональных показателей целевых веществ.
Содержание примесей: примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и водяной пар в порах являются основными источниками загрязнения накопленных пленок. Различные целевые материалы для разных целей предъявляют разные требования к разному содержанию примесей. Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Время публикации: 6 июня 2022 г.