Ниобиевые мишенные материалы в основном используются в оптических покрытиях, покрытиях для материалов для поверхностной инженерии, а также в таких отраслях, как термостойкость, коррозионная стойкость и высокая проводимость. В области оптического покрытия он в основном применяется в офтальмологических оптических изделиях, линзах, прецизионной оптике, покрытиях большой площади, 3D-покрытиях и других аспектах.
Материал ниобиевой мишени обычно называют голой мишенью. Сначала его приваривают к медной задней мишени, а затем напыляют для осаждения атомов ниобия в виде оксидов на материале подложки, обеспечивая напыление покрытия. С постоянным углублением и расширением технологии и применения ниобиевых мишеней требования к однородности микроструктуры ниобиевой мишени возросли, что в основном проявляется в трех аспектах: измельчение размера зерна, отсутствие явной ориентации текстуры и повышение химической чистоты.
Равномерное распределение микроструктуры и свойств по всей мишени имеет решающее значение для обеспечения эффективности распыления ниобиевых мишенных материалов. Поверхность ниобиевых мишеней, встречающихся в промышленном производстве, обычно имеет регулярный рисунок, который сильно влияет на эффективность распыления мишеней. Как мы можем улучшить коэффициент использования целевых показателей?
В результате исследований было обнаружено, что содержание примесей (целевая чистота) является важным фактором, влияющим на чистоту. Химический состав сырья неравномерен, примеси обогащены. После последующей обработки прокаткой на поверхности ниобиевой мишени формируются регулярные узоры; Устранение неравномерности распределения компонентов сырья и обогащения примесями позволяет избежать образования регулярных узоров на поверхности ниобиевых мишеней. Влияние размера зерна и структурного состава на целевой материал может быть практически незначительным.
Время публикации: 19 июня 2023 г.