Жидкокристаллические дисплеи на тонкопленочных транзисторах в настоящее время являются основной технологией плоских дисплеев, а мишени для распыления металла являются одним из наиболее важных материалов в производственном процессе. В настоящее время спрос на металлические мишени для распыления, используемые на основных линиях по производству ЖК-панелей в Китае, является самым высоким для четырех типов мишеней: алюминия, меди, молибдена и молибден-ниобиевого сплава. Позвольте мне представить рыночный спрос на металлические мишени для распыления в индустрии плоских дисплеев.
1、 Алюминиевая мишень
В настоящее время алюминиевые мишени, используемые в отечественной индустрии жидкокристаллических дисплеев, в основном доминируют японскими предприятиями.
2, Медная мишень
С учетом тенденции развития технологии напыления доля спроса на медные мишени постепенно увеличивается. Кроме того, в последние годы размер отечественного рынка жидкокристаллических дисплеев постоянно расширяется. Таким образом, спрос на медные изделия в индустрии плоских дисплеев продолжит расти.
3. Молибденовая мишень широкого диапазона.
Что касается иностранных предприятий: Иностранные предприятия, такие как Panshi и Shitaike, в основном монополизируют внутренний широкий целевой рынок молибдена. Производство внутри страны: по состоянию на конец 2018 года молибденовые мишени широкого спектра отечественного производства применяются при производстве жидкокристаллических панелей дисплеев.
4. Мишень из сплава молибден-ниобий 10.
Сплав молибден-ниобий-10 в качестве важного материала-заменителя молибдена-алюминия-молибдена в диффузионном барьерном слое тонкопленочных транзисторов имеет многообещающую перспективу рыночного спроса. Однако из-за значительной разницы в коэффициенте взаимной диффузии между атомами молибдена и ниобия в месте частиц ниобия после высокотемпературного спекания образуются большие поры, что затрудняет улучшение плотности спекания. Кроме того, после полной диффузии атомов молибдена и ниобия образуется сильное твердорастворное упрочнение, что приводит к ухудшению характеристик их прокатки. Однако после многочисленных экспериментов и открытий в 2017 году он был успешно выпущен с содержанием кислорода менее 1000 × A Mo Nb-мишень из сплава с плотностью 99,3%.
Время публикации: 18 мая 2023 г.