Сейчас мы должны быть хорошо знакомы с целью, теперь целевой рынок также увеличивается, ниже приведены основные характеристики мишени для распыления, которыми поделился редактор из RSM.
Чистота
Чистота материала мишени является одним из основных показателей производительности, поскольку чистота материала мишени оказывает большое влияние на характеристики тонкой пленки. Однако при практическом применении требования к чистоте целевых материалов не одинаковы. Например, с быстрым развитием промышленности микроэлектроники размер кремниевого чипа был увеличен с 6 дюймов, 8 дюймов до 12 дюймов, а ширина проводки была уменьшена с 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм или даже 0,13 мкм. Ранее чистота целевого материала 99,995% могла соответствовать технологическим требованиям 0,35 мкмIC. Чистота целевого материала составляет 99,999% или даже 99,9999% для изготовления линий размером 0,18 мкм.
Содержание примесей
Примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и водяной пар в порах являются основными источниками загрязнения при осаждении пленки. Целевые материалы для разных целей предъявляют разные требования к разному содержанию примесей. Например, к мишеням из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемым в полупроводниковой промышленности, предъявляются особые требования по содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Плотность
Чтобы уменьшить пористость целевого твердого тела и улучшить характеристики напыляемой пленки, обычно требуется высокая плотность мишени. Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше целевая плотность, тем лучше характеристики пленки. Кроме того, увеличение плотности и прочности мишени позволяет ей лучше противостоять тепловым нагрузкам в процессе распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей эффективности цели.
Размер зерна и гранулометрический состав
Мишень обычно представляет собой поликристалл с размером зерна от микрометра до миллиметра. Для одной и той же мишени скорость распыления мишени с мелкими зернами выше, чем у мишени с крупными зернами. Распределение толщины пленок, нанесенных распылительной мишенью с меньшей разницей размеров зерен (равномерное распределение), более равномерное.
Время публикации: 04 августа 2022 г.