Мишень из иттрия высокой чистоты — важный элемент PVD-покрытия

Что такое мишень для распыления иттрия?
Иттриевая мишень в основном производится с помощью распыляемой мишени из металлического элемента иттрия, поскольку иттриевый элемент (Y) является одним из редкоземельных металлических элементов, поэтому иттриевая мишень также известна как редкоземельная мишень.
Иттриевые мишени в основном используются в технологии напыления. Технология напыления является одной из технологий физического осаждения из паровой фазы (PVD) и одной из основных технологий изготовления тонкопленочных электронных материалов. Бомбардируя поверхность мишени частицами высокой энергии (такими как ионы или электронные лучи), атомы или молекулы мишени распыляются и осаждаются на другую подложку с образованием желаемой пленки или покрытия.
Иттриевая мишень — это просто исходный материал желаемой пленки или покрытия, приготовленный по технологии PVD.

Что такоетотДля чего используется мишень для распыления иттрия?

Иттриевые мишени имеют широкий спектр применения в нескольких областях, основными областями применения являются следующие:

1. Полупроводниковые материалы. В полупроводниковой промышленности иттриевые мишени используются для создания определенных слоев в полупроводниковых материалах или электронных компонентах, таких как транзисторы, интегральные схемы и т. д.
2. Оптическое покрытие. В области оптики иттриевые мишени можно использовать для приготовления оптических покрытий с высоким показателем преломления и низкой скоростью рассеяния, которые играют важную роль в производстве оптических устройств, таких как лазеры и оптические фильтры.
3. Нанесение тонких пленок. Иттриевая мишень занимает важное место в технологии осаждения тонких пленок, а ее высокая чистота, хорошая стабильность и особые физические и химические свойства делают ее идеальным выбором для изготовления различных тонкопленочных материалов. Эти тонкопленочные материалы имеют широкий спектр применения в оптической, электронной, магнитной и других областях.
4. Область медицины: иттриевые мишени имеют важное применение в радиационной медицине, например, в качестве источника рентгеновских и гамма-лучей, диагностической визуализации (например, компьютерной томографии) и лучевой терапии. Кроме того, специфические изотопы иттрия (например, Y-90) также могут использоваться в радиофармацевтических препаратах для целевого лечения конкретных видов рака.
5. Атомная энергетика. В ядерных реакторах иттриевые мишени используются в качестве рычажных материалов для управления скоростью и стабильностью ядерных реакций благодаря их превосходной способности поглощать нейтроны.

Примечание. Поскольку требования к производительности иттриевых мишеней в разных областях применения могут различаться, соответствующую мишень необходимо выбирать в соответствии с реальной ситуацией в конкретном приложении. (Например, определенная чистота, соотношение состава, размер, форма и т. д., настраиваются в соответствии с конкретными требованиями.)

Технология производства иттриевых мишеней для распыления?

1. Подготовка порошка иттрия 2. ГИП, прессование 3. Высокотемпературное спекание 4. Последующая обработка (резка, полировка и т. д.) 5. Очистка и упаковка

Примечание. Помимо вышеуказанных основных этапов, в зависимости от конкретного метода подготовки и потребностей применения, мишени для распыления иттрия могут также включать в себя другие этапы и технологии, такие как метод распыления, метод вакуумной плавки и т. д. Эти методы помогают дополнительно настроить и оптимизировать характеристики и структура целевого материала.

Как выбрать качественную мишень для распыления?

Ниже перечислены 7 важных факторов для выбора высококачественных мишеней для распыления:

1.Приветхх чистота

Мишени высокой чистоты имеют лучшие свойства материала и более стабильные физические и химические свойства, что важно для обеспечения качества и производительности напыленных покрытий. Конкретные требования к чистоте должны определяться в соответствии со сценарием применения. Некоторые простые сценарии применения не требуют достижения сверхвысокой чистоты, чтобы не увеличивать ненужные затраты. То, что подходит вам, является лучшим.

2.Стабильность

Не менее важна стабильность мишени, которая позволяет избежать потерь материала или колебаний производительности во время распыления. Поэтому при выборе следует выбирать специальную обработку или хорошую стабильность продукта.

3. Размер и форма

Размер и форма мишени для распыления должны выбираться в соответствии с конкретными требованиями оборудования для нанесения покрытий, чтобы адаптироваться к различным процессам распыления и производственным потребностям. Обеспечение соответствия мишени оборудованию повышает эффективность распыления и снижает количество отходов.

4.Плотность

Плотность является одним из важных показателей качества целевого материала. Целевой материал высокой плотности может обеспечить лучший эффект распыления. При выборе следует обратить внимание на данные плотности мишени и стараться выбирать изделия с более высокой плотностью.

5. Точность обработки

Точность обработки цели также является одним из факторов, которые необходимо учитывать. Как правило, точность обработки мишени должна быть в пределах ±0,1 мм, чтобы обеспечить стабильность процесса распыления и однородность качества покрытия.

6. Особые требования

Для некоторых особых сценариев применения, таких как необходимость высокого пропускания света, низкого поглощения мишени (оптическое покрытие) или высокой проводимости, высокая стабильность мишени (электронное поле), следует выбирать в соответствии с конкретными потребностями соответствующей мишени. тип.

7.Выберите профессионального производителя или поставщика.