Цель имеет множество эффектов, а пространство для развития рынка велико. Это очень полезно во многих областях. Почти все новое оборудование для распыления использует мощные магниты для спирали электронов для ускорения ионизации аргона вокруг мишени, что приводит к увеличению вероятности столкновения между мишенью и ионами аргона. Теперь давайте посмотрим на роль распыляемой мишени при вакуумном нанесении покрытия.
Улучшите скорость распыления. Обычно распыление постоянным током используется для нанесения металлических покрытий, а распыление радиочастотным током переменного тока используется для непроводящих керамических магнитных материалов. Фундаментальный принцип заключается в использовании тлеющего разряда для удара ионов аргона (AR) по поверхности мишени в вакууме, при этом катионы в плазме ускоряются и устремляются к поверхности отрицательного электрода в виде разбрызгиваемого материала. В результате этого удара материал мишени вылетит и отложится на подложке, образуя пленку.
Вообще говоря, пленочное покрытие методом напыления имеет несколько характеристик: (1) в пленку можно превратить металл, сплав или изолятор.
(2) При соответствующих условиях настройки пленка одного и того же состава может быть изготовлена из множества и неупорядоченных мишеней.
(3) Смесь или соединение целевого материала и молекул газа можно получить путем добавления кислорода или других активных газов в атмосферу разряда.
(4) Целевой входной ток и время распыления можно контролировать, что позволяет легко получить высокоточную толщину пленки.
(5) По сравнению с другими процессами он способствует производству однородных пленок большой площади.
(6) На распыляемые частицы практически не влияет сила тяжести, а положения мишени и подложки можно регулировать свободно.
Время публикации: 17 мая 2022 г.