В настоящее время почти все высококачественные металлические медные мишени сверхвысокой чистоты, необходимые для индустрии ИС, монополизированы несколькими крупными иностранными транснациональными компаниями. Все мишени из сверхчистой меди, необходимые отечественной промышленности ИС, необходимо импортировать, что не только дорого, но и сложно в процедурах импорта. Поэтому Китаю срочно необходимо улучшить разработку и проверку мишеней для распыления меди сверхвысокой чистоты (6N). . Давайте рассмотрим ключевые моменты и трудности разработки мишеней для распыления меди сверхвысокой чистоты (6N).
1、Разработка материалов сверхвысокой чистоты
Технология очистки металлов высокой чистоты Cu, Al и Ta в Китае далека от технологий промышленно развитых стран. В настоящее время большинство металлов высокой чистоты, которые могут быть предоставлены, не могут соответствовать требованиям качества интегральных схем для распыляемых мишеней в соответствии с традиционными в отрасли методами всеэлементного анализа. Количество включений в цели слишком велико или распределено неравномерно. Частицы часто образуются на пластине во время распыления, что приводит к короткому замыканию или разрыву межсоединения, что серьезно влияет на характеристики пленки.
2、Разработка технологии подготовки медных мишеней для распыления
Разработка технологии подготовки мишеней для распыления меди в основном сосредоточена на трех аспектах: размер зерна, контроль ориентации и однородность. Полупроводниковая промышленность предъявляет самые высокие требования к распыляемым мишеням и испарению сырья. Он предъявляет очень строгие требования к контролю размера поверхностного зерна и ориентации кристаллов мишени. Размер зерна мишени должен контролироваться на уровне 100.μ М ниже, поэтому контроль размера зерна и средства корреляционного анализа и обнаружения очень важны для разработки металлических мишеней.
3、Развитие анализа итестирование технология
Высокая чистота мишени означает уменьшение примесей. Раньше для определения примесей использовались индуктивно-связанная плазма (ИСП) и атомно-абсорбционная спектрометрия, но в последние годы в качестве стандарта постепенно стал использоваться анализ качества тлеющего разряда (GDMS) с более высокой чувствительностью. метод. Метод коэффициента остаточного сопротивления RRR в основном используется для определения электрической чистоты. Принцип его определения заключается в оценке чистоты основного металла путем измерения степени электронной дисперсии примесей. Поскольку сопротивление предназначено для измерения сопротивления при комнатной температуре и при очень низкой температуре, определить число просто. В последние годы с целью изучения сущности металлов очень активно ведутся исследования сверхвысокой чистоты. В этом случае значение RRR — лучший способ оценить чистоту.
Время публикации: 06 мая 2022 г.