Недавно многие друзья спрашивали о характеристиках мишеней для распыления молибдена. Каковы требования к характеристикам мишеней для распыления молибдена в электронной промышленности для повышения эффективности распыления и обеспечения качества наносимых пленок? Сейчас нам это объяснят технические специалисты РСМ.
1. Чистота
Высокая чистота является основным требованием к молибденовой мишени для распыления. Чем выше чистота молибденовой мишени, тем лучше характеристики напыленной пленки. Как правило, чистота молибденовой мишени для распыления должна составлять не менее 99,95% (массовая доля указана ниже). Однако с постоянным увеличением размера стеклянной подложки в индустрии ЖК-дисплеев необходимо увеличивать длину проводки, а ширину линии делать тоньше. Чтобы обеспечить однородность пленки и качество проводки, также необходимо соответствующим образом повысить чистоту мишени для распыления молибдена. Следовательно, в зависимости от размера напыленной стеклянной подложки и условий использования чистота молибденовой мишени для распыления должна составлять 99,99–99,999% или даже выше.
Молибденовая мишень для распыления используется в качестве катодного источника при распылении. Основными источниками загрязнения осаждаемых пленок являются примеси в твердом веществе, а также кислород и пары воды в порах. Кроме того, в электронной промышленности, поскольку ионы щелочных металлов (Na, K) легко становятся подвижными ионами в изоляционном слое, производительность исходного устройства снижается; Такие элементы, как уран (U) и титан (TI), будут испускать α-рентгеновские лучи, что приведет к мягкому разрушению устройств; Ионы железа и никеля вызовут утечку на границе раздела и увеличение содержания кислородных элементов. Следовательно, в процессе приготовления молибденовой мишени для распыления необходимо строго контролировать эти примесные элементы, чтобы минимизировать их содержание в мишени.
2. Размер зерна и его распределение по размерам.
Как правило, мишень для распыления молибдена имеет поликристаллическую структуру, а размер зерна может варьироваться от микрона до миллиметра. Результаты экспериментов показывают, что скорость распыления мелкозернистой мишени выше, чем у крупнозернистой; Для мишени с небольшой разницей в размерах зерен распределение толщины осажденной пленки также более равномерное.
3. Ориентация кристаллов
Поскольку во время распыления атомы мишени легко распыляются преимущественно в направлении наибольшего расположения атомов в гексагональном направлении, для достижения наибольшей скорости распыления скорость распыления часто увеличивают путем изменения кристаллической структуры мишени. Направление кристаллов мишени также оказывает большое влияние на однородность толщины напыленной пленки. Поэтому очень важно получить определенную кристаллоориентированную целевую структуру для процесса напыления пленки.
4. Уплотнение
В процессе напыления покрытия, когда бомбардируется распыляемая мишень с низкой плотностью, газ, существующий во внутренних порах мишени, внезапно высвобождается, что приводит к разбрызгиванию частиц или частиц мишени большого размера, или материал пленки бомбардируется. вторичными электронами после образования пленки, что приводит к разбрызгиванию частиц. Появление этих частиц ухудшит качество пленки. Чтобы уменьшить поры в целевом твердом веществе и улучшить характеристики пленки, мишень для распыления обычно должна иметь высокую плотность. Для распыляемой мишени из молибдена ее относительная плотность должна составлять более 98%.
5. Привязка цели и шасси
Как правило, мишень для распыления молибдена должна быть соединена с шасси из бескислородной меди (или алюминия и других материалов) перед распылением, чтобы теплопроводность мишени и шасси была хорошей во время процесса распыления. После связывания необходимо провести ультразвуковой контроль, чтобы убедиться, что площадь несклеивания между ними составляет менее 2%, чтобы соответствовать требованиям мощного распыления без падения.
Время публикации: 19 июля 2022 г.