Трещины в мишенях для распыления обычно возникают в керамических мишенях для распыления, таких как оксиды, карбиды, нитриды и хрупкие материалы, такие как хром, сурьма, висмут. Теперь технические специалисты РСМ объяснят, почему трескается мишень напыления и какие профилактические меры можно предпринять, чтобы избежать этой ситуации.
Керамические или хрупкие материальные объекты всегда содержат внутренние напряжения. Эти внутренние напряжения возникают в целевом производственном процессе. Кроме того, эти напряжения не полностью устраняются процессом отжига, поскольку они являются неотъемлемыми характеристиками этих материалов. В процессе распыления бомбардировка ионами газа передает свой импульс атомам мишени, давая им достаточно энергии для отделения от решетки. Эта экзотермическая передача импульса приводит к повышению целевой температуры, которая может достигать 1000000 ℃ на атомном уровне.
Эти термические удары многократно увеличивают существующее внутреннее напряжение в мишени. В этом случае, если тепло не рассеивается должным образом, мишень может сломаться. Чтобы предотвратить растрескивание мишени, следует уделять особое внимание рассеиванию тепла. Для отвода нежелательной тепловой энергии от мишени необходим механизм водяного охлаждения. Еще один вопрос, который следует учитывать, — это увеличение мощности. Слишком большая мощность, приложенная за короткое время, также вызовет тепловой удар по цели. Кроме того, мы предлагаем привязать эти мишени к объединительной плате, что может не только обеспечить поддержку мишени, но и способствовать лучшему теплообмену между мишенью и водой. Если мишень имеет трещины, но приклеена к задней пластине, ее все равно можно использовать.
Компания Rich Special Materials Co., Ltd. может предоставить мишени для распыления с объединительной платой. Его можно настроить в соответствии с требованиями клиентов к материалу, толщине и типу склеивания.
Время публикации: 21 сентября 2022 г.