Как мы все знаем, существует множество спецификаций мишеней для распыления, и области их применения также очень широки. Типы целей, обычно используемые в разных областях, также различны. Сегодня познакомимся с классификацией областей целевого применения распыления вместе с редактором РСМ!
1、 Определение цели распыления
Напыление является одной из основных технологий получения тонкопленочных материалов. Он использует ионы, производимые источником ионов, для ускорения и сбора в вакууме с образованием высокоскоростного ионного пучка, бомбардировки поверхности твердого тела, а ионы обмениваются кинетической энергией с атомами на твердой поверхности, так что атомы на твердой поверхности поверхности отделяются от твердого тела и осаждаются на поверхности подложки. Бомбардируемое твердое вещество является сырьем для изготовления тонкой пленки, нанесенной путем распыления, которая называется мишенью для распыления.
2、 Классификация областей применения распыления.
1. Полупроводниковая мишень
(1) Общие цели: общие цели в этой области включают металлы с высокой температурой плавления, такие как тантал/медь/титан/алюминий/золото/никель.
(2) Использование: в основном используется в качестве основного сырья для интегральных схем.
(3) Требования к производительности: высокие технические требования к чистоте, размеру, интеграции и т. д.
2. Цель для плоскопанельного дисплея
(1) Общие цели: общие цели в этой области включают алюминий/медь/молибден/никель/ниобий/кремний/хром и т. д.
(2) Использование: этот тип мишени в основном используется для различных типов пленок большой площади, таких как телевизоры и ноутбуки.
(3) Требования к производительности: высокие требования к чистоте, большой площади, однородности и т. д.
3. Целевой материал для солнечных батарей.
(1) Общие цели: алюминий/медь/молибден/хром/ITO/Ta и другие цели для солнечных элементов.
(2) Использование: в основном используется в «оконных слоях», барьерных слоях, электродах и проводящей пленке.
(3) Требования к производительности: высокие технические требования и широкий диапазон применения.
4. Мишень для хранения информации
(1) Общие цели: общие цели из кобальта/никеля/ферросплава/хрома/теллура/селена и других материалов для хранения информации.
(2) Использование: этот вид целевого материала в основном используется для магнитной головки, среднего и нижнего слоев оптического привода и оптического диска.
(3) Требования к производительности: требуется высокая плотность хранения и высокая скорость передачи.
5. Цель модификации инструмента
(1) Общие цели: общие цели, такие как титан/цирконий/хромалюминиевый сплав, модифицированные инструментами.
(2) Использование: обычно используется для укрепления поверхности.
(3) Требования к производительности: высокие требования к производительности и длительный срок службы.
6. Мишени для электронных устройств
(1) Общие цели: обычные мишени из алюминиевого сплава/силицида для электронных устройств.
(2) Назначение: обычно используется для тонкопленочных резисторов и конденсаторов.
(3) Требования к производительности: небольшой размер, стабильность, низкий температурный коэффициент сопротивления.
Время публикации: 27 июля 2022 г.