В целях поддержки производства пленочных пьезоэлектрических MEMS (pMEMS) датчиков и компонентов радиочастотных (RF) фильтров, алюминиево-скандиевый сплав, производимый Rich Special Material Co., Ltd., специально используется для реактивного осаждения пленок нитрида алюминия, легированного скандием. .
Тонкопленочные пьезоэлектрические материалы все чаще используются в автомобильном, промышленном и личном электронном оборудовании. Приложения включают датчики отпечатков пальцев на основе PMT и устройства распознавания жестов, микрофоны MEMS, химические датчики на основе резонаторов и медицинские датчики. Кроме того, пленки из нитрида алюминия, легированного скандием, все чаще необходимы для реализации радиочастотных фильтров для сетевых приложений 5G. В то же время увеличивается количество сплавов алюминия и скандия.
Свойства сплава Al Sc
Высокая химическая однородность по всему сплаву.
Высокая постоянная химическая однородность пленки на протяжении всего срока службы стружки и сплава.
Чистота>99,9%, низкое содержание кислорода, низкое содержание критических загрязняющих веществ.
Строго контролируйте микроструктуру для достижения наилучших характеристик распыления.
Полностью плотный сплав, отлитый в вакууме, с низкой адгезией, низкой изменчивостью и низкой зернистостью.
Rich Special Material Co., Ltd. оказывает услуги по выплавке различных сплавов, настройке мишеней и исследованиям и разработкам.
Время публикации: 11 ноября 2022 г.