Цель распыления сплава CrSi, тонкопленочное Pvd-покрытие высокой чистоты, выполненное на заказ

Изготовление хромокремниевых мишеней для распыления включает в себя следующие этапы:
1.Вакуумная плавка кремния и хрома для получения ступенчатых сплавов.
2.Порошок измельчения, упаковки и вакуумирования.
3.Горячее изостатическое прессование для получения полуфабрикатов.
4. Обработка грубого материала мишени для распыления из хром-кремниевого сплава для получения мишени для распыления из хром-кремниевого сплава.

CrSi часто используется в качестве пленочного материала с высоким сопротивлением, он отличается высоким сопротивлением, стабильностью и низким температурным коэффициентом сопротивления. Хроний и кремний могут производить множество силицидных фаз, таких как Cr3Si, Cr5Si3, , CrSi, CrSi2. Процесс производства, состав и процесс термообработки пленки CrSi сильно влияют на ее характеристики.

Rich Special Materials специализируется на производстве мишеней для распыления и может производить хромокремниевые материалы для распыления в соответствии со спецификациями клиентов. Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами.