Цель распыления AlTa, тонкопленочное PVD-покрытие высокой чистоты, выполненное на заказ

Мишени готовятся путем смешивания порошков алюминия и тантала или плавления в вакууме с последующим уплотнением до полной плотности. Уплотненные таким образом материалы необязательно спекаются, а затем им придается желаемая целевая форма.

Мишень для распыления алюминия и тантала имеет высокую чистоту, однородную микроструктуру и отличную проводимость. Он широко используется при формировании тонких пленок для производства плоских дисплеев. Алюминий-тантал также можно добавлять для получения высокоэффективного титанового сплава, чтобы улучшить его пригодность к высоким температурам.