Ținta are o piață largă, o zonă de aplicare și o dezvoltare mare în viitor. Pentru a vă ajuta să înțelegeți mai bine funcțiile țintă, mai jos inginerul RSM vă va prezenta pe scurt principalele cerințe funcționale ale țintei.
Puritatea: puritatea este unul dintre principalii indicatori funcționali ai țintei, deoarece puritatea țintei are un impact mare asupra funcției filmului. Cu toate acestea, în aplicarea practică, cerințele de puritate ale țintei sunt, de asemenea, diferite. De exemplu, odată cu dezvoltarea rapidă a industriei microelectronice, dimensiunea plachetei de siliciu este extinsă de la 6 "la 8" la 12 ", iar lățimea cablajului este redusă de la 0,5um la 0,25um, 0,18um sau chiar 0,13um. Anterior, 99,995% din puritatea țintă poate îndeplini cerințele procesului de 0,35 umic, în timp ce prepararea liniilor de 0,18 um necesită 99,999% sau chiar 99,9999% din puritatea țintă.
Conținut de impurități: impuritățile din solidele țintă și oxigenul și vaporii de apă din pori sunt principalele surse de poluare ale peliculelor depuse. Țintele pentru diferite scopuri au cerințe diferite pentru diferite conținuturi de impurități. De exemplu, țintele din aluminiu pur și aliaje de aluminiu utilizate în industria semiconductoarelor au cerințe speciale pentru conținutul de metale alcaline și conținutul de elemente radioactive.
Densitate: pentru a reduce porii din solidul țintă și pentru a îmbunătăți funcția de pulverizare a filmului, ținta este de obicei necesară să aibă o densitate mare. Densitatea țintei nu afectează numai rata de pulverizare, ci afectează și funcțiile electrice și optice ale filmului. Cu cât densitatea țintei este mai mare, cu atât funcția filmului este mai bună. În plus, densitatea și rezistența țintei sunt îmbunătățite, astfel încât ținta să poată accepta mai bine stresul termic în procesul de pulverizare. Densitatea este, de asemenea, unul dintre indicatorii funcționali cheie ai țintei.
Ora postării: 20-mai-2022