Ținta are multe funcții și o largă aplicație în multe domenii. Noul echipament de pulverizare aproape că folosește magneți puternici pentru a spirala electronii pentru a accelera ionizarea argonului în jurul țintei, ceea ce crește probabilitatea de coliziune între țintă și ionii de argon.
Creșteți rata de pulverizare. În general, pulverizarea DC este utilizată pentru acoperirea metalului, în timp ce pulverizarea prin comunicații RF este utilizată pentru materialele magnetice ceramice neconductoare. Principiul de bază este de a folosi descărcarea strălucitoare pentru a lovi ionii de argon (AR) de pe suprafața țintei în vid, iar cationii din plasmă se vor accelera pentru a ajunge la suprafața electrodului negativ ca material stropit. Acest impact va face ca materialul țintei să zboare și să se depună pe substrat pentru a forma o peliculă.
În general, există mai multe caracteristici ale acoperirii filmului folosind procesul de pulverizare:
(1) Metalul, aliajul sau izolatorul pot fi transformate în date de film subțire.
(2) În condiții de setare adecvate, filmul cu aceeași compoziție poate fi realizat din ținte multiple și dezordonate.
(3) Amestecul sau compusul de material țintă și molecule de gaz poate fi realizat prin adăugarea de oxigen sau alte gaze active în atmosfera de descărcare.
(4) Curentul de intrare țintă și timpul de pulverizare pot fi controlate și este ușor să obțineți grosimea filmului de înaltă precizie.
(5) Este benefic pentru producția altor filme.
(6) Particulele pulverizate sunt greu afectate de gravitație, iar ținta și substratul pot fi organizate liber.
Ora postării: 24-mai-2022