Materialele țintă de niobiu sunt utilizate în principal în acoperirea optică, acoperirea materialelor de inginerie de suprafață și industriile de acoperire, cum ar fi rezistența la căldură, rezistența la coroziune și conductivitate ridicată. În domeniul acoperirii optice, se aplică în principal în produse optice oftalmice, lentile, optică de precizie, acoperire cu suprafețe mari, acoperire 3D și alte aspecte.
Materialul țintă de niobiu este de obicei numit țintă goală. Este mai întâi sudat pe ținta din spate de cupru și apoi pulverizat pentru a depune atomi de niobiu sub formă de oxizi pe materialul substratului, obținând o acoperire prin pulverizare. Odată cu aprofundarea și extinderea continuă a tehnologiei și a aplicării țintei de niobiu, cerințele pentru uniformitatea microstructurii țintei de niobiu au crescut, manifestându-se în principal în trei aspecte: rafinarea mărimii granulelor, lipsa de orientare evidentă a texturii și puritate chimică îmbunătățită.
Distribuția uniformă a microstructurii și proprietăților în întreaga țintă este crucială pentru asigurarea performanței de pulverizare a materialelor țintă cu niobiu. Suprafața țintelor de niobiu întâlnite în producția industrială prezintă de obicei modele regulate, care afectează foarte mult performanța de pulverizare a țintelor. Cum putem îmbunătăți rata de utilizare a țintelor?
Prin cercetări, s-a descoperit că conținutul de impurități (puritatea țintă) este un factor important care afectează puritatea. Compoziția chimică a materiilor prime este neuniformă, iar impuritățile sunt îmbogățite. După prelucrarea ulterioară a rulării, se formează modele regulate pe suprafața materialului țintă de niobiu; Eliminarea distribuției neuniforme a componentelor materiilor prime și îmbogățirea cu impurități poate evita formarea de modele regulate pe suprafața țintelor de niobiu. Influența mărimii granulelor și a compoziției structurale asupra materialului țintă poate fi aproape neglijabilă.
Ora postării: 19-jun-2023