Trebuie să fim foarte familiarizați cu ținta acum, acum și piața țintă este în creștere, următoarea este care este principala performanță a țintei sputtering împărtășită de editorul de la RSM
Puritatea
Puritatea materialului țintă este unul dintre principalii indici de performanță, deoarece puritatea materialului țintă are o mare influență asupra performanței filmului subțire. Cu toate acestea, în aplicarea practică, cerințele de puritate ale materialelor țintă nu sunt aceleași. De exemplu, odată cu dezvoltarea rapidă a industriei microelectronice, dimensiunea chipului de siliciu a fost dezvoltată de la 6”, 8” la 12”, iar lățimea cablajului a fost redusă de la 0,5um la 0,25um, 0,18um sau chiar 0,13um. Anterior, puritatea materialului țintă de 99,995% poate îndeplini cerințele procesului de 0,35umIC. Puritatea materialului țintă este de 99,999% sau chiar 99,9999% pentru prepararea liniilor de 0,18um.
Conținut de impurități
Impuritățile din solidul țintă și oxigenul și vaporii de apă din pori sunt principalele surse de poluare ale depunerii peliculei. Materialele țintă pentru diferite scopuri au cerințe diferite pentru conținutul diferit de impurități. De exemplu, țintele din aluminiu pur și aliaje de aluminiu utilizate în industria semiconductoarelor au cerințe speciale pentru conținutul de metale alcaline și elemente radioactive.
Densitatea
Pentru a reduce porozitatea solidului țintă și pentru a îmbunătăți performanța filmului de pulverizare, este de obicei necesară o densitate mare a țintei. Densitatea țintei afectează nu numai viteza de pulverizare, ci și proprietățile electrice și optice ale filmului. Cu cât densitatea țintei este mai mare, cu atât performanța filmului este mai bună. În plus, creșterea densității și rezistenței țintei face ca ținta să reziste mai bine la stresul termic din procesul de pulverizare. Densitatea este, de asemenea, unul dintre indicii cheie de performanță ai țintei.
Dimensiunea granulelor și distribuția granulometriei
Ținta este de obicei policristalină, cu dimensiunea granulelor variind de la micrometru la milimetru. Pentru aceeași țintă, viteza de pulverizare a țintei cu boabe mici este mai rapidă decât cea a țintei cu boabe mari. Distribuția grosimii filmelor depuse prin pulverizarea țintei cu o diferență mai mică de dimensiune a granulelor (distribuție uniformă) este mai uniformă.
Ora postării: 04-aug-2022