În ultimii ani, odată cu progresul tehnologiei circuitelor integrate (IC), aplicațiile aferente circuitelor integrate au fost dezvoltate rapid. Ținta de pulverizare pulverizată cu aliaj de aluminiu de puritate ultra înaltă, ca material de sprijin în fabricarea interconexiunilor metalice cu circuite integrate, a devenit un subiect fierbinte în cercetările interne recente. editorul RSM ne va arăta caracteristicile țintei de pulverizare a aliajului de aluminiu de înaltă puritate.
Pentru a îmbunătăți și mai mult eficiența de pulverizare a țintei de pulverizare cu magnetron și pentru a asigura calitatea filmelor depuse, un număr mare de experimente arată că există anumite cerințe pentru compoziția, microstructura și orientarea granulelor țintei de pulverizare cu aliaj de aluminiu de puritate ultra-înaltă.
Dimensiunea granulelor și orientarea granulelor țintei au o mare influență asupra pregătirii și proprietăților filmelor IC. Rezultatele arată că rata de depunere scade odată cu creșterea mărimii granulelor; Pentru ținta de pulverizare cu aceeași compoziție, viteza de pulverizare a țintei cu granulație mică este mai rapidă decât cea a țintei cu granulație mare; Cu cât granulația țintei este mai uniformă, cu atât distribuția grosimii filmelor depuse este mai uniformă.
Sub același instrument de pulverizare și parametri de proces, rata de pulverizare a țintei aliajului Al Cu crește odată cu creșterea densității atomice, dar este în general stabilă într-un interval. Efectul mărimii granulelor asupra vitezei de pulverizare se datorează modificării densității atomice odată cu modificarea mărimii granulelor; Viteza de depunere este afectată în principal de orientarea granulelor țintei aliajului Al Cu. Pe baza asigurării proporției de (200) planuri de cristal, creșterea proporției de (111), (220) și (311) planuri de cristal va crește rata de depunere.
Dimensiunea granulelor și orientarea granulelor țintelor din aliaj de aluminiu de puritate ultra-înaltă sunt în principal ajustate și controlate prin omogenizarea lingoului, prelucrare la cald și recoacere prin recristalizare. Odată cu dezvoltarea dimensiunii napolitanelor la 20,32 cm (8 inchi) și 30,48 cm (12 inchi), dimensiunea țintei este, de asemenea, în creștere, ceea ce impune cerințe mai mari pentru țintele pulverizate cu aliaj de aluminiu de puritate ultra-înaltă. Pentru a asigura calitatea filmului și randamentul, parametrii de procesare țintă trebuie controlați strict pentru a uniformiza microstructura țintă, iar orientarea granulelor trebuie să aibă texturi plane puternice (200) și (220).
Ora postării: 30-jun-2022