După cum știm cu toții, există multe specificații ale țintelor de pulverizare, iar domeniile lor de aplicare sunt, de asemenea, foarte largi. Tipurile de ținte utilizate în mod obișnuit în diferite domenii sunt, de asemenea, diferite. Astăzi, să învățăm despre clasificarea câmpurilor de aplicație țintă de pulverizare cu editorul RSM!
1、 Definiția țintei pulverizate
Pulverizarea este una dintre principalele tehnologii pentru prepararea materialelor cu peliculă subțire. Utilizează ionii produși de sursa de ioni pentru a accelera și aduna în vid pentru a forma un fascicul de ioni de mare viteză, bombardează suprafața solidă, iar ionii fac schimb de energie cinetică cu atomii de pe suprafața solidă, astfel încât atomii de pe solid suprafața sunt separate de solid și depuse pe suprafața substratului. Solidul bombardat este materia primă pentru prepararea peliculei subțiri depuse prin pulverizare, care se numește țintă de pulverizare.
2、 Clasificarea câmpurilor de aplicare a țintei de pulverizare
1. Tinta semiconductoare
(1) Ținte comune: țintele comune în acest domeniu includ metale cu punct de topire ridicat, cum ar fi tantalul / cuprul / titanul / aluminiul / aurul / nichelul.
(2) Utilizare: utilizat în principal ca materii prime cheie pentru circuitele integrate.
(3) Cerințe de performanță: cerințe tehnice ridicate pentru puritate, dimensiune, integrare etc.
2. Țintă pentru afișaj cu ecran plat
(1) Ținte comune: ținte comune în acest domeniu includ aluminiu / cupru / molibden / nichel / niobiu / siliciu / crom etc.
(2) Utilizare: acest tip de țintă este utilizat în principal pentru diferite tipuri de filme cu suprafață mare, cum ar fi televizoare și notebook-uri.
(3) Cerințe de performanță: cerințe ridicate pentru puritate, suprafață mare, uniformitate etc.
3. Material țintă pentru celula solară
(1) Ținte comune: aluminiu/cupru/molibden/crom/ITO/Ta și alte ținte pentru celule solare.
(2) Utilizare: utilizat în principal în „stratul de fereastră”, stratul de barieră, electrodul și filmul conductor.
(3) Cerințe de performanță: cerințe tehnice ridicate și gamă largă de aplicații.
4. Țintă pentru stocarea informațiilor
(1) Ținte comune: ținte comune de cobalt / nichel / feroaliaj / crom / teluriu / seleniu și alte materiale pentru stocarea informațiilor.
(2) Utilizare: acest tip de material țintă este utilizat în principal pentru capul magnetic, stratul mijlociu și stratul inferior al unității optice și al discului optic.
(3) Cerințe de performanță: sunt necesare densitate mare de stocare și viteză mare de transmisie.
5. Țintă pentru modificarea sculei
(1) Ținte comune: ținte comune, cum ar fi aliajul de titan/zirconiu/crom aluminiu modificat de unelte.
(2) Utilizare: utilizat de obicei pentru întărirea suprafeței.
(3) Cerințe de performanță: cerințe de înaltă performanță și durată lungă de viață.
6. Ținte pentru dispozitive electronice
(1) Ținte comune: ținte comune din aliaj de aluminiu/silicid pentru dispozitive electronice
(2) Scop: utilizat în general pentru rezistențe și condensatoare cu peliculă subțire.
(3) Cerințe de performanță: dimensiune mică, stabilitate, coeficient scăzut de temperatură de rezistență
Ora postării: 27-iul-2022