O revestimento a vácuo na seleção de materiais alvo de pulverização catódica tem sido um problema para as pessoas, atualmente, já que o revestimento por pulverização catódica, especialmente o desenvolvimento das habilidades de revestimento por pulverização catódica de magnetron, pode ser dito para qualquer informação que seja capaz de direcionar a preparação de material de filmes finos por bombardeio de íons, porque a pulverização catódica do material alvo no processo de revestimento para o tipo de substrato tem um efeito importante na qualidade do filme de pulverização catódica. Portanto, os requisitos do material alvo são mais rigorosos. Aqui aprenderemos sobre o papel do alvo de pulverização catódica no revestimento a vácuo junto com o editor do Beijing Relaxation
一、Princípio de seleção e classificação do material alvo
Na seleção do material alvo, além do uso do próprio filme deve ser selecionado, os seguintes problemas também devem ser considerados:
Problema 1. De acordo com os requisitos de uso e desempenho da membrana, é necessário que o material alvo atenda aos requisitos técnicos de pureza, conteúdo do magazine, uniformidade dos componentes, precisão de usinagem e assim por diante.
Problema 2. O material alvo deve ter boa resistência mecânica e estabilidade química após a formação do filme;
Problema 3. É necessário que o material do filme gere facilmente um filme composto com o gás de reação como o filme de pulverização catódica reativo;
Problema 4. É necessário definir o alvo e a matriz para serem fortes, caso contrário, deve-se adotar o material do filme com boa adesão à matriz, primeiro pulverizar uma camada de filme inferior e depois preparar a camada de filme necessária;
Questão 5. Partindo da premissa de atender aos requisitos de desempenho do filme, quanto menor for a diferença entre o coeficiente de expansão térmica do alvo e da matriz, melhor, de modo a reduzir a influência do estresse térmico do filme de pulverização catódica;
Preparação de vários alvos comumente usados
(1) alvo cr
O cromo como material de filme de pulverização catódica não é apenas fácil de combinar com o material de base, tem alta adesão, e o filme CrQ3 de cromo e óxido, suas propriedades mecânicas, resistência a ácidos e estabilidade térmica são melhores.
principalmente envolvidos em: alvo de titânio, alvo de zircônio, alvo de alumínio, alvo de níquel, alvo de cromo, alvo de tungstênio, alvo de molibdênio, alvo de cobre, alvo de silício, alvo de nióbio, alvo de tântalo, liga de titânio-silício alvo, alvo de liga de titânio-nióbio, alvo de liga de titânio-tungstênio, alvo de liga de titânio-zircônio, alvo de liga de níquel-cromo, alvo de liga de sílica-alumínio, liga de níquel-vanádio alvo, alvo de liga ternária de cromo-alumínio-silício, material alvo de liga ternária Ti al si, amplamente utilizado em decoração / superfície dura e revestimento funcional, vidro arquitetônico, display plano / fotoelétrico óptico, armazenamento óptico, eletrônica, impressão e outras profissões.
Horário da postagem: 02/06/2022