quais são os fatores que afetam a qualidade do alvo

　 Com o desenvolvimento da tecnologia industrial, a qualidade dos alvos exigidos para a produção industrial também está cada vez mais alta, porque a qualidade dos alvos afeta diretamente o desempenho dos filmes de pulverização catódica de magnetron.Hoje em dia, as empresas geralmente preferem usar alvos de alta densidade com estrutura de composição uniforme para revestimentos por pulverização catódica na compra de alvos, de modo a reduzir a costura múltipla dos alvos e melhorar a qualidade dos revestimentos por pulverização catódica. controlar a qualidade do alvo. Agora deixe o editor de PequimRichmatleva você a entender quais fatores afetam a qualidade do alvo.

1、A influência dos parâmetros do processo na qualidade do alvo

Os parâmetros do processo incluem principalmente pressão de prensagem a frio, velocidade de pressurização e velocidade de desmoldagem e outros parâmetros.Quando o alvo é prensado a frio, a pressão afetará diretamente a qualidade do alvo em branco;A velocidade de pressurização tem um grande impacto na estratificação do branco alvo, e o estado inicial quando o pó é preenchido uniformemente no molde negativo é um estado relaxado, que tem muitos poros e gases, e a descarga de gases leva um período de tempo.

2、OInfluência do mofo na qualidade alvo

O molde também tem certa influência na formação da peça bruta alvo. Os principais fatores de influência incluem o acabamento superficial do lado interno do molde, a folga entre o punção e a cavidade do molde, etc. se a folga for muito grande, ocorrerá escorrimento e vazamento de pó, o que tornará a densidade marginal de o blank baixo e problemas de qualidade, como queda da borda durante a desmoldagem.　

3、O efeito do teor de umidade do material na qualidade do alvo

　　A umidade contida no pó do material alvo é equivalente ao efeito do lubrificante, e sua presença pode reduzir o atrito entre as partículas, o que conduz à transmissão eficaz da pressão de prensagem a frio, e também contribui para suavizar o deslizamento e rearranjo entre as partículas de pó.No entanto, quando o teor de água é muito pequeno ou muito grande, isso afetará a qualidade do alvo.

Quando o teor de água no pó ITO é inferior a 2%, a probabilidade de problemas de qualidade, como perda de borda e delaminação do material alvo, aumentará bastante quando outras condições, como pressão de prensagem a frio e conteúdo de ligante, forem as mesmas. o conteúdo do pó ITO é superior a 10%, sob a mesma pressão de prensagem a frio, teor de aglutinante e outras condições, embora as partículas do pó deslizem e se reorganizem mais facilmente, a água é descarregada do interior do molde, o que causará o problema de queda bordas ao redor do espaço em branco do alvo material.Os resultados mostram que quando o teor de água do pó está entre 3% e 6%, a qualidade do branco é efetivamente controlada.

4、Efeito do conteúdo do fichário na qualidade do alvo

　　A quantidade de ligante incorporada tem um grande impacto na qualidade do material alvo. Quando a quantidade de incorporação for inferior a 1%, o alvo em branco terá um problema de qualidade muito sério, neste momento, o efeito do aglutinante não é mostrado e tem pouco efeito na melhoria da resistência do alvo em branco. o aumento da incorporação de ligante para 2% e 3%, a resistência do material alvo é aumentada e o problema de qualidade do material alvo é bastante reduzido. No entanto, quando o aglutinante é incorporado a 4%, embora o problema de qualidade da peça bruta prensada a frio do material alvo desapareça, o material alvo ocasionalmente delamina durante o processo de desmoldagem subsequente.