1. Preparação para pulverização catódica
É muito importante manter limpa a câmara de vácuo, especialmente o sistema de pulverização catódica. Qualquer resíduo formado por óleo lubrificante, poeira e revestimento anterior acumulará vapor d'água e outros poluentes, o que afetará diretamente o grau de vácuo e aumentará a possibilidade de falha na formação do filme. Curto-circuito ou arco voltaico, superfície áspera do filme e conteúdo excessivo de impurezas químicas são frequentemente causados por câmara de pulverização catódica, pistola de pulverização catódica e alvo sujos. Para respeitar as características de composição do revestimento, é necessário limpar e secar o gás de pulverização catódica (árgônio ou oxigênio). Após a instalação do substrato na câmara de pulverização catódica, o ar precisa ser extraído para atingir o vácuo exigido pelo processo. A cobertura de blindagem na área escura, a parede da cavidade e a superfície adjacente também precisam ser mantidas limpas. Ao limpar a câmara de vácuo, recomendamos o uso de jateamento com esfera de vidro para tratar as partes empoeiradas, juntamente com ar comprimido para remover os primeiros resíduos de pulverização ao redor da câmara e, em seguida, polir silenciosamente a superfície externa com lixa impregnada de alumina. Após o polimento do papel gaze, ele é limpo com álcool, acetona e água deionizada. Juntos, defendem o uso de aspirador industrial para limpeza auxiliar. Os alvos produzidos pela Gaozhan metal são embalados em sacos plásticos selados a vácuo,
Construído em agente à prova de umidade. Ao usar o alvo, não toque diretamente no alvo com a mão. Nota: ao usar o alvo, use luvas de manutenção limpas e sem fiapos. Nunca toque no alvo diretamente com as mãos
2. Limpeza de alvo
O objetivo da limpeza do alvo é remover a poeira ou sujeira que possa existir na superfície do alvo.
O alvo metálico pode ser limpo em quatro etapas,
O primeiro passo é limpar com um pano macio e sem fiapos embebido em acetona;
A segunda etapa é semelhante à primeira, limpando com álcool;
Etapa 3: limpe com água deionizada. Após lavar com água deionizada, coloque o alvo no forno e seque a 100 ℃ por 30 minutos.
A limpeza dos alvos óxidos e cerâmicos deverá ser realizada com “pano sem fiapos”.
A quarta etapa é lavar o alvo com argônio com alta pressão e baixo gás de água após a remoção da área empoeirada, de modo a remover todas as partículas de impureza que possam formar arco no sistema de pulverização catódica
3. Dispositivo alvo
No processo de instalação do alvo, Z precauções importantes são garantir uma boa conexão de condução térmica entre o alvo e a parede de resfriamento da pistola de pulverização catódica. Se o empenamento da aduela de resfriamento for severo ou o empenamento da placa traseira for grave, o dispositivo alvo irá rachar ou dobrar, e a condutividade térmica do alvo traseiro para o alvo será grandemente afetada, resultando na falha da dissipação de calor no processo de pulverização catódica, e o alvo irá rachar ou errar
Para garantir a condutividade térmica, uma camada de papel grafite pode ser acolchoada entre a parede de resfriamento do cátodo e o alvo. Preste atenção para verificar cuidadosamente e deixar claro o nivelamento da parede de resfriamento da pistola de pulverização catódica usada para garantir que o O-ring esteja sempre no lugar.
Como a limpeza da água de resfriamento utilizada e a poeira que pode ocorrer durante a operação do equipamento serão depositadas no tanque de água de resfriamento do cátodo, é necessário verificar e limpar o tanque de água de resfriamento do cátodo ao instalar o alvo para garantir o bom funcionamento. circulação da água de resfriamento e que a entrada e a saída não sejam bloqueadas.
Alguns cátodos são planejados para ter um pequeno espaço com o ânodo, portanto, ao instalar o alvo, é necessário garantir que não haja contato ou condutor entre o cátodo e o ânodo, caso contrário ocorrerá um curto-circuito.
Consulte o Manual do operador do equipamento para obter informações sobre como operar o alvo corretamente. Se não houver tal informação no manual do usuário, tente instalar o dispositivo de acordo com as sugestões relevantes fornecidas pela Gaozhan metal. Ao apertar o acessório alvo, primeiro aperte um parafuso com a mão e depois aperte outro parafuso na diagonal com a mão. Repita isso até que todos os parafusos do dispositivo estejam apertados e, em seguida, aperte com alguma coisa.
4、 Inspeção de curto-circuito e estanqueidade
Após a conclusão do dispositivo alvo, é necessário verificar o curto-circuito e a estanqueidade de todo o cátodo,
Propõe-se determinar se há curto-circuito no cátodo usando um medidor de resistência
Discriminação de linha. Depois de confirmar que não há curto-circuito no cátodo, a detecção de vazamento pode ser realizada e a água pode ser introduzida no cátodo para confirmar se há vazamento de água.
5. Pré-sputtering alvo
A pré-sputtering do alvo defende a pulverização catódica de argônio puro, que pode limpar a superfície do alvo. Quando o alvo é pré-pulverizado, recomenda-se aumentar lentamente a potência de pulverização catódica, e a taxa de aumento de potência do alvo cerâmico é de 1,5WH/cm2. A velocidade de pré-pulverização do alvo de metal pode ser maior do que a do bloco alvo de cerâmica, e uma taxa de aumento de potência razoável é de 1,5WH/cm2.
No processo de pré-sputtering, precisamos verificar o arco do alvo. O tempo de pré-sputtering é geralmente de cerca de 10 minutos. Se não houver fenômeno de arco, aumente continuamente o poder de pulverização catódica
Para a potência definida. De acordo com a experiência, o alto poder de pulverização Z aceitável do alvo de metal é
25watts/cm2, 10watts/cm2 para alvo cerâmico. Consulte a base de configuração e a experiência da pressão da câmara de vácuo durante a pulverização catódica no manual de operação do sistema do usuário. Geralmente, deve-se garantir que a temperatura da água na saída da água de resfriamento seja inferior a 35 ℃, mas é importante garantir que o sistema de circulação da água de resfriamento possa funcionar de maneira eficaz
A rápida circulação da água super-resfriada retira o calor, o que é uma garantia importante para garantir pulverização contínua com alta potência. Para alvos metálicos, é geralmente defendido que o fluxo de água de resfriamento seja
A pressão da água de 20 lpm é de cerca de 5 gmp; Para alvos cerâmicos, geralmente é defendido que o fluxo de água seja de 30 lpm e a pressão da água seja de cerca de 9 gmp
6. Manutenção de metas
Para evitar curto-circuito e arco elétrico causados por cavidades sujas no processo de pulverização catódica, é necessário remover a pulverização catódica acumulada no centro e em ambos os lados da pista de pulverização catódica em etapas,
Isso também ajuda os usuários a disparar continuamente em z alta densidade de potência
7. Armazenamento de destino
Os alvos fornecidos pela Gaozhan Metal são embalados em sacos plásticos a vácuo de dupla camada. Defendemos que os utilizadores mantenham os alvos, sejam metálicos ou cerâmicos, em embalagens a vácuo. Em particular, os alvos de ligação precisam ser armazenados sob condições de vácuo para evitar que a oxidação da camada de ligação afete a qualidade da ligação. No que diz respeito ao acondicionamento de alvos metálicos, defendemos que Z seja acondicionado em sacos plásticos limpos
Horário da postagem: 13 de maio de 2022