Sputtering alvos com backboard Binding

Processo de encadernação da tabela:

1. O que é vinculação vinculativa? Refere-se ao uso de solda para soldar o material alvo ao alvo traseiro. Existem três métodos principais: crimpagem, brasagem e adesivo condutor. A ligação do alvo é comumente usada para brasagem, e os materiais de brasagem geralmente incluem In, Sn e In Sn. Geralmente, quando são usados ​​materiais de brasagem macios, a potência de pulverização catódica deve ser inferior a 20W/cm2.

2、 Por que ligar 1. Evitar a fragmentação desigual dos materiais alvo durante o aquecimento, como alvos frágeis como ITO, SiO2, cerâmica e alvos sinterizados; 2. Salve * * * e evite deformações. Se o material alvo for muito caro, ele pode ser mais fino e ligado ao alvo posterior para evitar deformação.

3、 Seleção do alvo traseiro: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. comumente usa cobre livre de oxigênio com boa condutividade, e a condutividade térmica do cobre livre de oxigênio é melhor do que a do cobre vermelho; 2. A espessura é moderada e geralmente é recomendado ter uma espessura alvo traseira de cerca de 3 mm. Muito grosso, consumindo alguma força magnética; Muito fino, fácil de deformar.

4、 Processo de encadernação 1. Pré-trate a superfície do material alvo e o alvo traseiro antes de encadernar. 2. Coloque o material alvo e o alvo traseiro em uma plataforma de brasagem e aumente a temperatura até a temperatura de ligação. 3. Metalize o material alvo e o alvo traseiro. 4. Unir o material alvo e o alvo traseiro. 5. Resfriamento e pós-processamento.

5. Precauções ao usar alvos vinculados: 1. A temperatura de pulverização catódica não deve ser muito alta. 2. A corrente deve ser aumentada lentamente. 3. A água de resfriamento circulante deve estar abaixo de 35 graus Celsius. 4. Densidade alvo adequada

6、 A razão para o desprendimento da placa traseira é que a temperatura de pulverização catódica é alta e o alvo traseiro está sujeito à oxidação e empenamento. O material alvo irá rachar durante a pulverização catódica em alta temperatura, fazendo com que o alvo traseiro se solte; 2. A corrente é muito alta e a condução de calor é muito rápida, fazendo com que a temperatura fique muito alta e a solda derreta, resultando em solda irregular e desprendimento do alvo traseiro; 3. A temperatura de saída da água de resfriamento circulante deve ser inferior a 35 graus Celsius, e a alta temperatura da água circulante pode causar má dissipação de calor e desprendimento; 4. A densidade do próprio material alvo, quando a densidade do material alvo é muito alta, não é fácil de adsorver, não há lacunas e o alvo traseiro é fácil de cair.